ULVAC爱发科 原装进口薄膜沉积 电容压力计ST200-R
ULVAC爱发科 原装进口薄膜沉积 电容压力计ST200-R
ULVAC爱发科 原装进口薄膜沉积 电容压力计ST200-R
ULVAC爱发科 原装进口薄膜沉积 电容压力计ST200-R
用于有机EL、触摸屏等制造设备的极限压力确认和工序管理。
用于检查真空炉等各种工业真空设备的极限压力。
用于在含有大量碳氢化合物（油基）的大气中进行测量
用于在真空零件加工过程中残留有切削油或清洗液的环境中进行测量。
适用于旨在减少更换真空计探头频率的真空设备。
*在腐蚀性气体（卤素气体）气氛中使用时，请与我们联系。
可连接不同测量范围的探头：多离子计允许根据应用选择探头。
紧凑：明显小于传统产品（控制器体积减少 56%），
提高可用性：可通过 PC/智能手机连接进行设定点设置、状态确认等
产品阵容丰富：除了模拟输出规格（ST200-A）和串行通信规格（ST200-R）外，还将增加EtherCAT规格（ST200-E）。
三极管型金属电离真空计：真空计即使在恶劣环境下也能实现长寿命。
灯丝寿命通知功能：通过监控灯丝功率，可以提前通知灯丝寿命。
压力测量范围广：可测量大气压至高真空范围（1×10 +5～ 1×10 -5 Pa）（连接选购件SWU10-R时）
的大气压力测量：可以检查腔室开口的大气压力（当连接可选单元 SAU 时）
| 模型 | ST200-A | ST200-R | ST200-E（预定发布） | |
|---|---|---|---|---|
| 规格 | 标准规格 | 串行通讯规格 | EtherCAT规格 | |
| 适应性强的多离子规传感器 | SWT-16(NW16), SWT-25(NW25) | |||
| 可连接的传感器 | 多离子压力传感器：1 件 皮拉尼压力计 SWU10-R：1 件（可选） 大气压力传感器 SAU：1 件（可选） | |||
| 重复性（N 2） | ST200单模：±2% | |||
| 采样时间 | 60ms 5次移动平均处理 | |||
| 测量值输出 | 输出电压 DC 0 至 10V LOG 输出 0.75V/1 位 压力转换公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} | |||
| 更新时间 | 60毫秒 | |||
| 控制输入信号 | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 采用集电极开路输入、负逻辑操作 | - | - | |
| 控制输出信号 | 传感器错误、设定值 1/2/3、发射有效、 灯丝功率监控 额定值：*24V 、*50mA 、饱和电压 1V | - | - | |
| 串行通讯规格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED表示 | POWER/ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化） | |||
| 发射电流 | 2mA（1×10 -2 Pa以下）、10μA（1×10 -2 Pa以上） | |||
| 脱气 | 电子轰击法，发射电流2mA，栅极电压约330V | |||
| 传感器耐压 | 2×10 + 5Pa（*压力） * 必须单独考虑法兰、卡箍等的耐压性能。 | |||
| 传感器内容积 | 17厘米3（SWT-16）、19厘米3（SWT-25） | |||
| 工作温度限制 | 10～50℃ | |||
| 工作湿度范围 | 15 至 80%（无冷凝） | |||
| 保管温度 | -20～65℃（不通电时不结露） | |||
| IP保护等级 | IP30 | |||
| 电源电压 | DC20~28V（纹波、噪声1%以下） 8W以下 | |||
| 输入/输出连接器 | D-sub15针（M2.6螺丝） | |||
| 质量 | 控制器：约 280g 测头（SWT-16、SWT-25）：80g | |||
| 外形尺寸 宽×深×高 | 69mm×63mm×90mm（控制器部分） | |||
| 兼容标准 | 这 | |||
| 选项 | 多离子计传感器 | SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25) 材质： 灯丝：Ir/Y 2 O 3涂层 其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar 玻璃、Kovar/Ni 镀层 | ||
| 皮拉尼压力计 | SWU10-R *也兼容传统SPU | |||
| 皮拉尼压力传感器 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材质：灯丝 - Pt、其他 - BS/Ni、电镀、Ni、焊料 | |||
| 大气压力传感器 | SAU(NW16) 材质：SUS316L | |||
| 单元电缆 | GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m | |||
| 显示单元 | 1CH：ISG1 (DC24V电源使用) | |||
| 显示单元电缆 | SH200至显示单元电缆 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m | |||
| 连接器 | 输入/输出连接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺丝）） | |||
| 其他的 | 检验报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书 | |||
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