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日本爱发科ULVAC皮拉尼真空计SP1用于在线式・片叶式等工艺

发布时间:2024/04/27 14:35:38 发布厂商:深圳京都玉崎电子有限公司 >> 进入该公司展台

日本爱发科ULVAC皮拉尼真空计SP1由深圳市京都玉崎电子有限公司优势供应,并提供报价图片!

日本爱发科ULVAC真空表GP-1000G/GP-2001G/GP-2002G/GP-1G-B  


日本ULVAC爱发科WP-01/WP-02/WP-03    


日本ULVAC爱发科SWU10-U-NW16/SWU10-U-NW25(皮拉尼真空计)

NW25 ST200A-ISG1-NW25-SET

 

日本ULVAC爱发科真空测定子 M-11/M-12/M-13/M-34


日本ULVAC真空计SW1-N1 SWP-16真空计

 

皮拉尼真空计

传感器型

SP1

SP1

爱发科

  • ・特点规格

  • 能源・消耗品

传感器单元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空计测量单元。「测定子和电路一体型(测定子可以更换)」结构,能够降低成本和节省空间。

特点

  • 传感器规格:如果需要压力
    ·空白计划降低
    ·控制板空间节省
    ·配线简化

  • 决定子交换更容易

  • 灯丝采用耐腐蚀材料铂

  • 其中一个使用的测量组件(SP1:WP-01,02,03,16)稍后使用

  • 可以输出2个设定点

  • SP1:压力为0至5 V输出(非输出)

  • 电源电压:24 VDC输入

用途

  • 用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制

  • 用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制

  • 用于在线式・片叶式等工艺腔室多种的各种制造设备的低真空领域的工艺控制

规格

类型传感器单元
模型SP1
兼容的传感器头WP-01、WP-02、WP-03、WP-16

准确性


±15 %(51 Pa ~760 Pa)
±30 %(10 Pa ~1000 Pa)
±50 %(0.4 Pa ~3000 Pa)
工作温度范围10~40℃
测量值输出非线性输出:0至5VDC(*10V)
设定点 1/2 压力设定调节监视器非线性输出:0至5VDC(*10V)
控制输出信号集电极开路输出,负逻辑
错误信号
设定值 1/2
LED显示屏功率、错误、设定点 1、设定点 2
电源电压DC24V±2V,90mA(*)
输入/输出连接器D-sub-15P(M2.6螺丝)
重量190克/0.41磅(不包括传感器头)

标准配件

输入/输出连接器 1 个
快速说明书 1份

IO和模拟地与电源地不隔离。






日本爱发科ULVAC
皮拉尼真空计
日本进口
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