基板的应变由传感器测量,镀层的内应力是实时测量的。
可以通过一次测量来测量每个电镀时间(薄膜厚度)的应力。 也可以测量在镀过一次的膜上再次进行电镀时的应力。 可以测量传统应力计无法检测到的细小应力。 应力计板插入 YPP 系列精密电镀电源的插槽中。
符合JIS H8626标准。
即使是微弱的应力也可以测量。 适用于测量薄膜、晶圆等弱产品。 (薄膜厚度为0.5μm以上时可进行测量)
也可以测量其他方法无法测量的初始应力。
适用于精细零件。
传感器获取的数据立即输入到接通电源的PC上,PC自动计算应力值,无需计算。 此外,被测数据使用个人计算机实时显示和存储。
输入电压 | AC100~200V±10% (50/60Hz±5%) |
输出电压/输出电流 | 直流0~15V / 0~10A |
*小分辨率 | 1毫安 / 10毫伏 / 0.1毫克 |
温度控制功能 | 1KW (开/关控制/PID控制) |
主机重量 | 8.8千克 |
支持的操作系统 | 兼容 Windows 8 和 10 |
产品编号 | 产品名称 | 数 |
B-72-SG-P01W型 | 应变片精密应力计(MODEL-w)用水箱 | 1 件 |
B-72-SG-P02型 | 带阳极背面的应变片精密应力片夹具支架 | 1套 |
B-72-SG-P03-1型 | 5个应变片精密应力片(铜)试样 | 1套 |
B-72-SG-P04型 | 试样绝缘管用应变片精密应力片 | 1 件 |
B-50-KTSG121513 | 不锈钢G型挡块(宽度12mm×15φ13) | 1 件 |
B-72-SG-P06型 | 精密应力计用应变片阳极板组 (铜磷、镍、SK镍、高纯锡(三菱电解锡)各1个) | 1对 |
B-58WJB型 | 船体电池加热器,WJB型,带热熔断器(AC100V,100W) | 1 件 |
B-72-SG-P07型 | 应变片精密应力计空气管 | 1 件 |
B-57A型 | 船体单元用气泵 A (AC100V) | 1 件 |
B-62A型 | 搅拌器(带固定底座)(兼容微桶、智能船体单元、智能单元) | 1套 |
B-93-YTC-P04型 | YTC和YPP用温度传感器(短) 长度 190mm | 1 件 |
B-93-YTC-P02型 | 温度控制器YTC(L型)用温度传感器挡块 | 1 件 |
A-52-P18型 | 空气滤清器 | 1 件 |
A-57-15100-1B型 | 应变片精密应力计板 | 1台 |
A-57-15100WA-J型 | 晶圆精密电镀电源YPP15100WA-J(1mA~10A) | 1台 |
A-57-15031WA-J型 | 精密电镀电源YPP15031WA-J(10μA~3A) |
* 产品编号的结尾因要设置的电源而异。
带YPP15100WA电源:B-72WJ-SG-100W
带YPP15031WA电源:B-72WJ-SG-031W
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