广东省高效过滤器DOP检漏检测方法--持正检测   测试范围： 对于10000级或更高洁净度要求的层流或乱流洁净室，包括层流工作台、层流罩、自净器以及制药厂用的无菌隧道、灌装线等设备上的高效过滤器，必须在现场对以下部位进行扫描巡检：

对制药企业来讲，高效过滤器检漏主要是现场检漏，通过DOP法发现滤器本身及运输、安装过程中可能存在的问题。常使用气溶胶光度计及多发散气溶胶，因其比单分散气溶胶来得经济方便并能满足要求。 

高效过滤器DOP检漏  检漏扫描时，采样口距离被测部位应小于5.0cm，以0.05m/s的速度移动。空气高效过滤器下风侧测试得到的泄漏浓度换算的透过率，不得大于该过滤器出厂合格透过率的3倍。 安裝在管道或空气处理机內的高效空气过滤器的检漏，检测可采用光度计法或粒子计数器法。用于安装在管道或空气处理机内的Z易穿透粒径的穿透率大于0.005%的高效空气过滤器的检漏。 检漏时，被检测过滤器就在设计风速的70%~130%之间运行，并确认其送风均匀性。上风向引入的大气尘或气溶胶浓度应能满足在下风向测试得到具有统计意义的读数。 测试时，应将采样口距离被测部位30cm至100cm处，在管道中应距管壁2.5cm，记录实测的含尘浓度。 高效空气过滤器检漏的限值，采用光度计法时，不得过10-4(0.01%);采用粒子计数器法时，不得大于出厂合格透过率的3倍。

（1）高效过滤器效率与检漏：高效过滤器过滤效率是指的滤器本身的效率，随执行的标准及测试方法不同而异。

高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验检测（如DOP试验等），并提供合格证（含性能试验结果）对于5级（100级）以上洁净室用高效过滤器、高效过滤器在现场应再次进行高效过滤器本体的性能检测。同时也要为确认高效过滤器的正确安装状态进行泄漏试验。而在大规模集成电路生产的洁净技术中（如0.1μm，1级），由于新风量往往仅是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级（1000级）的程度，因此，在这种情况下，就必须重新考虑采用DOP检漏试验。

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