μMLA

桌面式无掩膜激光直写机

The Table-Top Maskless Aligner

适合科研领域的实验室与学术研究所

μMLA是新一代桌面式激光直写仪的*技术，在科研微结构的应用领域中是一台*入门级的工具。

µMLA具有灵活性和可定制性，*小可支持毫米大小范围的样品。

主要产业应用有：半导体芯片、微机电、微流体、微光学、传感器、掩膜版以及其它有微纳米结构需求的科研领域。

关于我们

Stella International携手光刻技术领航者-海德堡仪器公司，共同为客户带来*的综合应用效能，同时建立紧密的合作伙伴关系。

为了服务客户更广泛多元的应用领域，Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心，以海德堡原厂伙伴技术支援，提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究，这些年来已服务许多的国内大学，研究所与企业前期研发单位。

介绍

德国海德堡设备(Heidelberg Instruments)，创始于1984年，在激光直写设备的发展和设计上，一直是*的。多年以来，系统设备持续地改良、在各种应用上客制化。

应用范围包括：微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, sma Disys, Micro Optics, 和其他相关领域。

销售横跨欧洲、美国、亚洲等过50几个*、700个以上销售据点，用于研发、快速原型制作和工业生产系统，是企业研究和发展的*伙伴。