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当出水水质不合格或生产了一定体积的软水后，离子交换器需停止运行，进行再生，再生的步骤如下：小反洗：再生前应对中间排液管上面的压脂层进行小反洗，洗去运行时积聚在压脂层和中间排液装置上的污物。小反洗时，先关闭进水阀及出水阀，再打开小反洗进水阀及反洗排水阀，流速一般为5～1米／时，时间3～5分钟。小反洗结束后，关闭小反洗进水阀及反洗排水阀。进再生液：打开进再生液阀，将再生液从设备的底部输入，再打开中间排液阀，再生废液由中间装置排出。
对于芯片厂1级、1级或更高级别的洁净厂房，预过滤器的常见效率级别为H1（MPPS85%），许多新建项目索性选用HEPA（对.37粒子的过滤效率99.97%）。在国内过去的洁净室空调系统设计中，过滤器的常见配置为：初级中效。那时末端过滤器的使用寿命仅为1-3年，差的也就几个月。可见，预过滤效率高低决定末端过滤器使用寿命。有些场合，对过滤器使用的规定不是出于对阻力的考虑，而是其他因素，若厂房中有，而车间空调又不是全新风系统，过滤器的玻璃纤维滤纸就会受到回风的腐蚀。


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