购买和应用成本比较
从体上来讲，电伺服驱动比气动伺服驱动要贵，但也要因具体要求及场合而定。有些小功率的直流电机构成电动滑台（电伺服系统）实际上比气动伺服系统要便宜。
如：当负载为1.5kg、工作行程为80mm、速度在2~170mm/s之间、精度为¡0.1mm、加速度2.5m/s2等工况条件时，FESTO公司采用小型电动滑台、控制器、马达电缆、控制电缆、编程电缆以及电源电缆等组成的电伺服系统，其价格就比气动伺服系统便宜25%。同样，对于带活塞杆电缸也是如此。需要说明的是如果采用交流电机的话，所组成的电伺服系统的价格要比气动伺服系统高出40%左右。
从购买和应用成本来看，目前气缸还是具有比较明显的优势的。对于气动系统来说，控制系统及执行机构都非常简单，每个气缸只需配置一个电磁阀就可完成气路的切换，进行运动控制，气缸发生故障的概率也比较小，维护简单方便，成本也低。
而对于电动执行器来说，虽然电能的获得比较简单，能量成本较低，但购买及应用成本较高，不仅需要配置电机，还需要一套机械传动机构以及相应的驱动元件。同时使用电动执行器需要很多保护措施，错误的电路连接、电压的波动及负载的载都会对电驱动器造成损坏，因此需要在电路及机械上加装保护系统，增加了很多额外的费用支出。另外，由于电动执行器驱动单元的参数化设置较多，且集成度高，所以其一旦发生故障，就要更换整个元件。而且当系统需要的驱动力增加时，也要成套更换元件才能实现。因此综合比较可以看出气缸在购买及维护成本上有较大优势。
能源效率比较

我们研究的结果表明，在往复运动周期较短（小于1min）的水平往复运动中，电动执行器的运行能耗通常低于气缸的运行能耗，即更节能。而在往复运动周期较长（大于1min）时，气缸竟然变得更节能。这首先是由于终端停止时电动执行器的控制器通常需要消耗约10W的电力，而气缸仅有电磁阀耗电和气体泄露，一般低于1W，即终端停止时间越长，对气缸越有利；其次电机在连续旋转条件下的额定效率可达90%以上，但在直线往复运动（丝杠转换）中的台形加减速旋转条件下的平均效率却不到50%。在竖直往复运动时，夹持工件的保持动作要求不断供给电流给电动执行器以克服重力，而气缸只需关闭电磁阀即可，耗电极少。因此在竖直往复运动时电动执行器相比气缸的能耗优势不是很大。

购买和应用成本比较