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首页 >山金工业(深圳)有限公司> 技术文章> 货存 HORIBA堀场 CS-700 化学液体浓度监测仪

货存 HORIBA堀场 CS-700 化学液体浓度监测仪

2026/08/19 16:36:01
这是一款化学液体浓度监测仪,可以高精度地测量半导体制造过程中使用的混合液体中每种成分的浓度。
它非常适合控制多组分化学品,包括专有化学品,有助于加强半导体制造过程中的质量控制,提高化学品管理的准确性。
  • 所属分类 :
     HORIBA堀场
  • 发布时间 : 2026-02-03
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  • 详细介绍

测量范围和重复性

单位:质量百分比

  成分名称 测量范围 重复性精度
*种化学溶液 HNO3 30.0 - 34.0 ±0.5
高频 2.00 - 4.00 ±0.10
H3PO4 35.0 - 39.0 ±0.6
H2SiF6 0.00 - 3.00 ±0.50
H2O 25.0 - 33.0 ±1.0
可滚动

测量条件
:1)测量间隔:约8秒;
2)移动平均值:10次;
3)化学溶液温度和环境温度变化:±1℃/小时以内,无温度突变;
4)化学溶液温度范围:20至30℃

  • 重复性精度定义为与平均值(1 小时内)的*误差。
  • 根据上表中的值,模拟输出被分配为 4 至 20 mA(*负载电阻 500 Ω)。


与上一代机型的规格对比

物品 CS-100 CS-700
测量原理 吸收光谱法 吸收光谱法
样品温度 20至30摄氏度 20至30摄氏度
环境温度 20至25摄氏度 20至30摄氏度
成分 *多 4 个组件 *多 8 个组件
化学范围 *多 4 个范围 *多 6 个范围
沟通 并行 I/O、模拟输出、RS-232C 并行 I/O、模拟输出、RS-232C
模拟输出
(4-20 mA)
*多 2 个组件 *多 6 个组件
方面 205(宽)x 329(深)x 269(高)毫米 218(宽)x 391(深)x 213(高)毫米
电源 直流24伏 直流24V(与CS-100接口相同)
消耗性部件 卤素灯 卤素灯(与 CS-100 型相同)
波长 紫外/近红外 紫外/近红外
湿润材料 聚四氟乙烯(PTFE)、聚对苯二甲酸*酯(PFA)、蓝宝石或石英, 聚四氟乙烯 (PTFE)、聚对苯二甲酸*酯 (PFA)、蓝宝石、
Kalrez 4079 O 型圈
可滚动
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