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首页 >山金工业(深圳)有限公司> 技术文章> 货存 PFEIFFER VACUUM普发 HiPace 800 纯涡轮式分子真空泵
货存 PFEIFFER VACUUM普发 HiPace 800 纯涡轮式分子真空泵
2026/07/30 11:56:49
可靠
同类产品中*的混合轴承技术,*的轴承润滑,使用寿命长
高气体流量
高抽速,与多种前级泵兼容,对轻质气体具有*的压缩比
性能*
优化转子几何形状,提高气体负载处理能力技术规格
ISO
| 技术参数 | HiPace 800,搭配 TC 400 |
|---|---|
| 氢气抽速 | 580 l/s |
| 氦气抽速 | 700 l/s |
| 氩气抽速 | 780 l/s |
| 氮气抽速 | 790 l/s |
| 氢气压缩比 | 4 · 10⁵ |
| 氦气压缩比 | 3 · 10⁷ |
| 氩气压缩比 | 1 · 10¹¹ |
| 氮气压缩比 | 1 · 10¹¹ |
| *终转速下的氢气气体流量 | 14 hPa l/s |
| *终转速下的氦气气体流量 | 20 hPa l/s |
| *终转速下的氩气气体流量 | 3.5 hPa l/s |
| *终转速下的氮气气体流量 | 6.5 hPa l/s |
| 适用于氮气的*前级真空 | 11 hPa |
| 启动时间 | 2 *小 |
| 可选通信接口 | Profibus、Profinet、Ethercat、Devicenet、Semi E74 |
| 标准通信接口 | RS-485,远程 |
| 安装方向 | 任意 |
| 声压级(EN ISO 2151) | 50 dBA |
| 重量(约) | 12.8 kg |
| 进气口 | DN 200 ISO-K/ISO-F/CF-F |
| 排气口 | DN 25 ISO-KF /G 1/4" |
二、核心产品体系
拥有全系列真空相关产品,覆盖多场景应用需求:
- 核心泵类:混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵、旋片泵、干泵、罗茨泵等,其中HiPace系列涡轮分子泵是高真空场景的经典产品。
- 检测分析设备:氦气质谱检漏仪、真空规、四级质谱仪、残余气体分析仪等,可实现高精度的真空系统检测与气体成分分析。
- 定制化方案:可提供模块化或定制化真空室、配套阀门管件,以及即插即用的预配置真空系统套件,降低用户部署门槛。
三、主要应用领域
产品广泛适配多个对真空环境要求严苛的行业:
- 半导体行业:专为晶圆制造等工艺设计,*推出的UltiDry系列多级罗茨真空泵可满足半导体产线的高能效、高稳定性需求。
- 科研领域:为粒子加速器、同步辐射光源、空间模拟设施、高校实验室等提供高真空解决方案,已和德国航空航天中心(DLR)等*科研机构达成长期合作。
- 其他工业场景:覆盖分析仪器、真空镀膜、太阳能光伏、低温工程、光子学研究等多个领域。

