全新ULVAC爱发科 LS600A-L 用于PVD干式真空泵

日本爱发科（ULVAC）的真空泵类型及用途如下：

一、主要类型

‌罗茨真空泵‌

代表型号：NB 100A

特点：腔体无润滑油，适用于水蒸气、溶剂等气体；高吸入压强下可稳定运转‌

‌油旋片式真空泵‌

代表型号：GLD-N202

特点：低震动、低噪音，适合半导体镀膜等精密工业场景‌

‌膜片干式真空泵‌

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代表型号：DAU-20D

特点：高真空度（0.67Pa），适用于高真空环境‌

‌螺杆式干式真空泵‌

代表型号：MS1200A/LS1200A

特点：防腐蚀设计，适合化学腐蚀性气体处理‌

‌两级排气真空泵‌

代表型号：GLD-040

特点：压力更低（真空度好），具备防回流机制和稳定排气速度‌

二、用途

‌半导体与电子制造‌：镀膜、溅射、液晶注入等工艺‌

‌真空热处理‌：烧结炉、钎焊炉等高温环境‌

‌干燥与脱气‌：冷冻干燥、真空脱气等工业流程‌

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‌分析仪器与检漏‌：CO₂激光设备、检漏设备等精密场景‌

‌实验室与科研‌：高真空实验、设备内部结构检测等‌

半导体与电子‌：

服务于真空镀膜、溅射、离子镀及气体置换等精密工艺。

支持晶圆制造中原子级真空环境控制，提升芯片良品率。

‌塑料与包装‌：

用于挤出机除气、EPS发泡及真空成型工艺36。

实现真空包装、吸附搬运及真空铸造，降低氧化污染风险。

三、‌医药与食品‌

‌制药行业‌：

支撑真空干燥（冷冻干燥、反应堆干燥）、蒸馏及晶化/汽化过程。

应用于灭菌设备真空系统及生物制药中的无菌工艺控制。

‌食品加工‌：

用于矿泉水除气、真空脱气及生鲜真空包装，延长保鲜周期。

配合冷链体系减少食品损耗，菌落数显著下降。

四、‌其他高精尖领域‌

‌航空航天与核能‌：用于真空隔热、分子蒸馏及核能源工艺中的无泄露气体传输。

‌环保与科研‌：支持燃料电池开发、溶剂回收及特殊环境下的精密实验控制。

‌技术特性‌：

采用低噪音设计、强制供油方式，适应全压强领域连续运转；

维护便捷，油量调节与更换流程优化，适配高温、粉尘等严苛环境

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