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首页 >深圳市京都玉崎电子有限公司> 技术文章> 现货ULVAC爱发科 MS600A 蚀刻设备真空泵

现货ULVAC爱发科 MS600A 蚀刻设备真空泵

2025/12/19 17:13:47

日本爱发科(ULVAC)的真空泵类型及用途如下:

一、主要类型

‌罗茨真空泵‌

代表型号:NB 100A

特点:腔体无润滑油,适用于水蒸气、溶剂等气体;高吸入压强下可稳定运转‌

‌油旋片式真空泵‌

代表型号:GLD-N202

特点:低震动、低噪音,适合半导体镀膜等精密工业场景‌

‌膜片干式真空泵‌

京都玉崎代理

代表型号:DAU-20D

特点:高真空度(0.67Pa),适用于高真空环境‌

‌螺杆式干式真空泵‌

代表型号:MS1200A/LS1200A

特点:防腐蚀设计,适合化学腐蚀性气体处理‌

‌两级排气真空泵‌

代表型号:GLD-040

特点:压力更低(真空度好),具备防回流机制和稳定排气速度‌

二、用途

‌半导体与电子制造‌:镀膜、溅射、液晶注入等工艺‌

‌真空热处理‌:烧结炉、钎焊炉等高温环境‌

‌干燥与脱气‌:冷冻干燥、真空脱气等工业流程‌

京都玉崎现货

‌分析仪器与检漏‌:CO₂激光设备、检漏设备等精密场景‌

‌实验室与科研‌:高真空实验、设备内部结构检测等‌

玉崎供货ULVAC爱发科 螺杆式干泵 DIS-251

半导体与电子‌:

服务于真空镀膜、溅射、离子镀及气体置换等精密工艺。

支持晶圆制造中原子级真空环境控制,提升芯片良品率。

‌塑料与包装‌:

用于挤出机除气、EPS发泡及真空成型工艺36。

实现真空包装、吸附搬运及真空铸造,降低氧化污染风险。

三、‌医药与食品‌

‌制药行业‌:

支撑真空干燥(冷冻干燥、反应堆干燥)、蒸馏及晶化/汽化过程。

应用于灭菌设备真空系统及生物制药中的无菌工艺控制。

‌食品加工‌:

用于矿泉水除气、真空脱气及生鲜真空包装,延长保鲜周期。

配合冷链体系减少食品损耗,菌落数显著下降。

四、‌其他高精尖领域‌

‌航空航天与核能‌:用于真空隔热、分子蒸馏及核能源工艺中的无泄露气体传输。

‌环保与科研‌:支持燃料电池开发、溶剂回收及特殊环境下的精密实验控制。

‌技术特性‌:

采用低噪音设计、强制供油方式,适应全压强领域连续运转;

维护便捷,油量调节与更换流程优化,适配高温、粉尘等严苛环境


玉崎供货ULVAC爱发科 MS1...
日本到货ULVAC爱发科 MS6...
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