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首页 >深圳京都玉崎电子有限公司> 技术文章> 日本EBARA荏原干式真空泵EV-M1205S

日本EBARA荏原干式真空泵EV-M1205S

2025/11/08 11:39:59

EBARA荏原干式真空泵EV-M1205S由深圳市京都玉崎电子有限公司供应,并提供报价图片,!

EV-M型 干式真空泵

 EV-M 型可应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重 制程工艺。同时兼顾了对重制程工艺和节能的需求,实现了停机风险的减少和 运行成本的降低。


特点

产品系列丰富,可应对多种工艺、抽气速率需求;兼顾高负荷与低功耗;

可应对腐蚀性气体(标配耐腐蚀材料)。


EBARA 荏原干式真空泵是荏原公司推出的一系列无油真空泵产品,具有清洁、节能、紧凑等特点,广泛应用于半导体、光伏等领域。以下是其主要介绍:

产品特点

无油清洁:采用非接触式密封技术,无需使用油或液体进行密封,能实现清洁真空,避免油和水的回流或扩散,适用于对真空环境要求较高的场合。

节能高效:的优化转子设计,提高了压缩效率,降低了功耗。部分型号还具备怠速模式,可进一步节省能源。

小巧轻便:具有小型轻量化的设计特点,占用空间小,便于安装在有限的空间内,且一些型号易于搬运,适合需要多次移动的应用场景。

低噪音振动:运行时噪音和振动水平较低,能为用户提供较为安静的工作环境,同时也有助于设备的稳定运行和延长使用寿命。

智能控制:具备*的控制管理功能,如数据保存、警报履历备份等,部分型号还可通过可编程的 LCD 控制器进行手动预警设置,方便用户监控和管理设备。

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货期短日本EBARA荏原干式真空泵EV-M202N货期短日本EBARA荏原干式真空泵EV-M202N

 


原装日本EBARA荏原干式真空...
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