德国KNF真空泵N84.3ANDC N85.3KTDC、N84.3ANE、N85.3KTE真空泵的特点 (1)在较宽的压力范围内有较大的抽速； (2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速； (3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染； (4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感； (5)压缩比较低，对氢气抽气效果差； ()转子表为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。