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首页 >玉崎科学仪器(深圳)有限公司> 技术文章> PA‑micro 显微型二维双折射 / 残余应力测量系统玉崎科学仪器深圳原装现货供应

PA‑micro 显微型二维双折射 / 残余应力测量系统玉崎科学仪器深圳原装现货供应

2026/09/03 18:46:13

玉崎科学仪器(深圳)有限公司  原装现货供应 PA‑micro 显微型二维双折射 / 残余应力测量系统

:Photonic‑Lattice(フォトニックラティス,日本)
PA‑micro 属于 PA 系列显微微区机型,分为完整成套 PA‑micro(含显微镜) 和机头版 PA‑micro‑S(仅测量机头,无显微镜)。将 500 万像素光子晶体偏振成像单元搭载于科研级显微镜,实现微米级视场下低相位差、微弱残余应力二维面测量;非接触无损快照成像,3‑10 秒输出显微视场相位差、光轴角度云图;专门用于微小器件局部微区应力分析。

核心原理

沿用 PA 系列光子晶体像素级偏振阵列传感器,无旋转检偏运动部件;单波长 520 nm 绿光,针对 0‑130 nm 微弱相位差信号优化;直接安装在显微镜三目接口,复用显微镜物镜实现显微放大;输出相位差 (nm)、光轴角度 (°);选配数据处理选件,输入材料光弹系数换算等效应力 MPa。
区分:PA‑micro 测低相位差微区;WPA‑micro 为三波长版本,用于高相位差树脂微区样品。

关键技术参数

项目 参数
测量波长 520 nm 绿光
相位差量程 0‑130 nm
传感器像素 2056 × 2464(约 500 万像素)
显微镜配置 可选奥林巴斯 / 尼康科研正置显微镜;物镜倍率 ×2、×5、×10、×20、×50
显微测量视场 142 × 170 μm ~ 3.5 × 4.2 mm(由物镜倍率决定)
重复精度 相位差 σ 1.0 nm;光轴角度 σ<1°(相位差>10 nm)
测量时间 3‑10 s / 单显微视场
输出 相位差 (nm)、光轴角度 (°);应力 MPa(选配)
软件 PA‑‑View;显微云图、线剖面、ROI 统计、CSV 导出、远程 API 接口
接口 GigE;电源 AC100‑240V 50‑60Hz
整机重量 PA‑micro 成套约 18 kg;PA‑micro‑S 机头仅约 0.5 kg









✨主要特点

  1. 显微微区面测量:把双折射应力测量下沉至微米尺度,观察器件局部位置应力集中,普通台式 PA‑300 无法达到该微观视场;快照式全视场成像,不需要逐点扫描。

  2. 两种供货形态:

    • PA‑micro:完整成套,含奥林巴斯 / 尼康显微镜整套;开箱即可使用。

    • PA‑micro‑S:仅偏振测量机头,可对接用户已有兼容显微镜,节省设备成本。

  3. 无运动光学部件,稳定性好,适合实验室材料微观机理研究。

  4. ❗不支持变焦镜头、不支持三波长色散模式;仅适合低相位差样品;高双折射微区样品选用 WPA‑micro。

🎯典型应用样品

✅半导体:TGV 玻璃通孔侧壁应力、芯片切割边缘、微小晶圆局部、光掩模微区缺陷;✅光学元件:微透镜阵列、光纤端面、小型晶体元件;✅玻璃:激光加工微孔、划切边缘局部残余应力;✅微小透明基材:观察局部应力集中、加工损伤、键合界面微区应力分布。
⚠️选型提示
  1. 大面积样品宏观检测:PA‑300 / PA‑300‑L;

  2. 需要微米局部微区:选 PA‑micro;已有显微镜选 PA‑micro‑S 机头;

  3. 微区样品相位差高(树脂类):选用 WPA‑micro;

  4. 量程上限 130 nm,过量程样品不适用。

🧩原厂可选配件

应力 MPa 数据处理选件、视场校正功能、远程控制 API 接口、遮光罩;不支持变焦镜头、不支持三波长高位相差选件。


日本Photonic‑Lattice采购渠道

玉崎科学仪器(深圳)有限公司  原装现货供应
负责人:¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ (林经理)
公司网站:www.shashinkagaku.com
地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学



Photonic‑Lattice...
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