日本 FLUORO 福乐 真空吸笔（C‑防静电系列 / F‑耐酸碱特氟龙系列）

供货渠道：玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应 负责人：林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵999⁸  地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层

产品概述

FLUORO 真空吸笔（真空镊子）用于半导体无尘室内手动搬运硅晶圆、碳化硅、玻璃基板、芯片 Die；依靠外接真空泵产生负压吸附，实现无夹伤、无划痕取放工件。

• C 系列：防静电导电款，常规干态无尘工位，探针、贴膜、划片、封装工序主流选用。

• F 系列：PTFE 特氟龙（铁氟龙）耐化学款，湿法清洗、蚀刻、浸泡药液工况，耐强酸强碱有机溶剂。

需要配套福乐 FV 系列无油真空泵作为负压气源，吸嘴 / 吸盘为可更换模块化耗材。

阀门类型定义（C/F 系列通用）

后缀 X = 万向 360° 旋转接头；Y/Z = 直柄固定接头；CP = 导电 PEEK 吸嘴；3F/PK/VP=F 系列吸嘴材质。

C 系列｜防静电导电真空吸笔（黑色笔身，碳纤维增强导电尼龙）

核心特点

1. 笔身：碳纤维增强导电尼龙，整体导电通路，表面电阻 10⁶‑10⁸Ω，有效泄放静电，保护器件不被 ESD 击穿。

2. 吸嘴：导电 PEEK，镜面抛光，低发尘，不划伤晶圆镀膜、光刻胶层。

3. 内部阀芯氟树脂密封，气密性优异，洁净室 Class100‑1000 可用，无金属析出污染。

4. 模块化快拆，吸嘴、吸盘快速更换，适配 2‑12 英寸整片晶圆、小芯片。

C 系列国内热销型号

应用场景：探针台、晶圆贴膜、研磨划片、芯片封装、光学基板搬运，干燥无尘环境，不可长时间浸泡化学药液。

F 系列｜耐酸碱特氟龙 PTFE 真空吸笔（白色氟树脂笔身）

核心特点

1. 整机笔身为 PTFE 特氟龙（四氟）氟树脂，化学惰性，耐强酸、强碱、显影液、各类有机溶剂，可短时浸泡药液槽内使用。

2. 耐温‑20℃~180℃，冷热药液交替不变形渗漏；自重轻约 35g，长时间手持不累手。

3. 吸嘴可选三种材质：

• 3F(PCTFE)：标准特氟龙吸盘；

• PK(PEEK)：通用湿法，不伤镀膜；

• VP(Vespel)：高耐磨，高频连续作业工况。

F 系列国内热销型号

应用场景：湿法清洗、酸蚀刻、显影、药液浸泡前后晶圆转移；不适合高冲击机械磕碰。

配套真空泵（FLUORO 原装气源）

配件耗材清单

1. 各类圆形、方形晶圆吸盘（适配 2‑12 英寸）；

2. 导电 PEEK、Vespel、PCTFE 吸嘴；

3. 防静电真空软管、接头组件；

4. 吸笔立式收纳支架。

选型注意要点

1. 干态洁净工作台 → 优先C 系列防静电；接触酸碱药液、清洗槽 → 必须选F 系列特氟龙。

2. 确认阀门逻辑：频繁点动取件选 001 常闭；长时间拿持工件选 003 带自锁开关。

3. F007 吹气款不能直接搭配 FV‑60，必须配套 FV‑W 系列真空泵。

4. 整套包含：吸笔笔身 + 吸盘吸嘴 + 真空泵 + 真空管路，分开订货。

订货说明

日本原装；部分型号现货，订货货期 4‑6 周；可提供原厂 PDF 规格书、COA，支持含税报价。

提示：下单请完整提供完整型号（含后缀接头、吸嘴代码），避免配件错配。

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