日本 FLUORO 福乐FV‑W 双向泵半导体无尘室无油隔膜真空泵真空吸笔配套无尘室玉崎科学原装供应

2026/08/17 11:11:14

日本 FLUORO 福乐 FV 系列无油隔膜真空泵（真空吸笔配套・无尘室）

供货渠道：玉崎科学仪器（深圳）有限公司原装现货供应

负责人：林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵999⁸

公司网站：www.shashinkagaku.com

地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层

FV 系列是 FLUORO 福乐专为半导体无尘室开发无油干式隔膜真空泵，作为 C 系列、F 系列真空吸笔负压气源，无需空压机、储气罐，交流市电直接工作，适配 Class100‑1000 洁净环境，用于硅晶圆、碳化硅、光学基板、芯片手动搬运。

整机无油设计，杜绝油雾污染；主流机型进出气配置HEPA 过滤器（0.3μm，过滤效率 99.97%），透明视窗可视滤芯损耗状态，方便维护更换。

分为标准负压款与FV‑W 吸附 + 吹气双向款，吹气款仅可搭配 C007 / F007 吹气释放型吸笔使用。

无油隔膜结构：完全无润滑油，无油气挥发污染晶圆，适合半导体洁净工位；电磁驱动隔膜，磨损极低，理论耐久＞9000 小时，支持 24h 连续运行
HEPA 双重过滤（FV‑30‑240 / FV‑60‑240 / FV‑XP / FV‑W）：进气、出气双端过滤，透明观察窗口，不用拆机即可判断滤芯更换周期，防止泵体碎屑反向污染工件。
防静电壳体：导电尼龙机身，可接地泄放静电，避免 ESD 损伤芯片器件。
低噪音封闭式腔体，体积小巧桌面摆放，也可嵌入设备内部；功耗低，长期使用省电。
管路兼容：支持 Φ3×5、Φ4×6 真空软管，出厂标配 Φ3×5 软管。
电压版本‑240：AC220‑240V，国内直接市电使用；‑110 为 110V 日规版本。

表格

型号	FV‑30‑240	FV‑60‑240（国内爆款）	FV‑XP	FV‑W（吸附 + 吹气双向）
供电	AC220‑240V	AC220‑240V	AC220‑240V	AC220‑240V
极限负压	‑50kPa	‑85kPa	‑90kPa	负压‑85kPa；吹气 0‑20kPa 可调正压
流量	2.5L/min	2.5L/min	3.5L/min	2.5L/min
功耗	5W	10W	12W	12W
外形 W×D×H (mm)	137×88×85	137×88×133	137×88×152	137×88×145
重量	800g	1250g	1400g	1350g
适配晶圆	2‑6 英寸	6‑8 英寸，可驱动 1‑2 支吸笔	8‑12 英寸，可同时多支吸笔	薄晶圆 / 微小芯片，搭配 007 吹气吸笔
HEPA 过滤	有	有	有	有

说明：FV‑10 为入门微型泵，无 HEPA，仅适合小芯片小件，半导体晶圆工位较少选用。

FV‑30‑240：小负压，适配 2‑6 英寸小尺寸硅片，单支吸笔，预算有限实验室。
FV‑60‑240（市面主流）：8 英寸晶圆通用，负压充足，绝大多数 C/F 系列吸笔标准配套，实验室、中试产线用量*。
FV‑XP：高性能加强版，更高真空 + 更大流量，12 寸大晶圆，可同时驱动多支吸笔，高端研发、小量产线。
FV‑W 双向泵：专属匹配 C007‑XX、F007‑XX 吹气释放型吸笔；按下吸笔按键输出柔和正压吹气，解决薄片、湿法晶圆静电 / 液膜粘片难以脱落问题；不可用于普通 001/002/003 吸笔。