日本 FLUORO 福乐FV‑60‑240导体无尘室无油隔膜真空泵真空吸笔配套无尘室玉崎科学原装供应

2026/08/17 11:09:03

日本 FLUORO 福乐 FV 系列无油隔膜真空泵（真空吸笔配套・无尘室）

供货渠道：玉崎科学仪器（深圳）有限公司原装现货供应

负责人：林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵999⁸

公司网站：www.shashinkagaku.com

地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层

FV 系列是 FLUORO 福乐专为半导体无尘室开发无油干式隔膜真空泵，作为 C 系列、F 系列真空吸笔负压气源，无需空压机、储气罐，交流市电直接工作，适配 Class100‑1000 洁净环境，用于硅晶圆、碳化硅、光学基板、芯片手动搬运。

整机无油设计，杜绝油雾污染；主流机型进出气配置HEPA 过滤器（0.3μm，过滤效率 99.97%），透明视窗可视滤芯损耗状态，方便维护更换。

分为标准负压款与FV‑W 吸附 + 吹气双向款，吹气款仅可搭配 C007 / F007 吹气释放型吸笔使用。

无油隔膜结构：完全无润滑油，无油气挥发污染晶圆，适合半导体洁净工位；电磁驱动隔膜，磨损极低，理论耐久＞9000 小时，支持 24h 连续运行
HEPA 双重过滤（FV‑30‑240 / FV‑60‑240 / FV‑XP / FV‑W）：进气、出气双端过滤，透明观察窗口，不用拆机即可判断滤芯更换周期，防止泵体碎屑反向污染工件。
防静电壳体：导电尼龙机身，可接地泄放静电，避免 ESD 损伤芯片器件。
低噪音封闭式腔体，体积小巧桌面摆放，也可嵌入设备内部；功耗低，长期使用省电。
管路兼容：支持 Φ3×5、Φ4×6 真空软管，出厂标配 Φ3×5 软管。
电压版本‑240：AC220‑240V，国内直接市电使用；‑110 为 110V 日规版本。

表格

型号	FV‑30‑240	FV‑60‑240（国内爆款）	FV‑XP	FV‑W（吸附 + 吹气双向）
供电	AC220‑240V	AC220‑240V	AC220‑240V	AC220‑240V
极限负压	‑50kPa	‑85kPa	‑90kPa	负压‑85kPa；吹气 0‑20kPa 可调正压
流量	2.5L/min	2.5L/min	3.5L/min	2.5L/min
功耗	5W	10W	12W	12W
外形 W×D×H (mm)	137×88×85	137×88×133	137×88×152	137×88×145
重量	800g	1250g	1400g	1350g
适配晶圆	2‑6 英寸	6‑8 英寸，可驱动 1‑2 支吸笔	8‑12 英寸，可同时多支吸笔	薄晶圆 / 微小芯片，搭配 007 吹气吸笔
HEPA 过滤	有	有	有	有

说明：FV‑10 为入门微型泵，无 HEPA，仅适合小芯片小件，半导体晶圆工位较少选用。

FV‑30‑240：小负压，适配 2‑6 英寸小尺寸硅片，单支吸笔，预算有限实验室。
FV‑60‑240（市面主流）：8 英寸晶圆通用，负压充足，绝大多数 C/F 系列吸笔标准配套，实验室、中试产线用量*。
FV‑XP：高性能加强版，更高真空 + 更大流量，12 寸大晶圆，可同时驱动多支吸笔，高端研发、小量产线。
FV‑W 双向泵：专属匹配 C007‑XX、F007‑XX 吹气释放型吸笔；按下吸笔按键输出柔和正压吹气，解决薄片、湿法晶圆静电 / 液膜粘片难以脱落问题；不可用于普通 001/002/003 吸笔。