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ULVAC 爱发科 CR60B-S 多级罗茨干式真空泵玉崎科学仪器原装现货

2026/07/27 14:49:44

ULVAC 爱发科 CR60B-S 多级罗茨干式真空泵玉崎科学仪器原装现货

ULVAC 爱发科 CR60B-S 多级罗茨干式真空泵玉崎科学仪器原装现货

CR系列干泵外观

一、产品概述

CR60B-S 属于日本 ULVAC CR Ver.B 风冷多级罗茨无油干泵

型号后缀含义：S = 单相电源规格；同系列 CR60B-T 为三相款（二者抽速一致，极限真空、供电不同，不可直接互换）
工作原理：多级三叶罗茨非接触式压缩结构，泵腔内部无真空油，输出洁净真空；整机强制风冷，无需冷却水、无需轴封氮气供给，安装基建成本低。

二、核心技术参数

项目	规格
50Hz 抽速	55 m³/h（920 L/min）
极限真空（无气镇）	≤3.0 Pa
极限真空（开启气镇）	≤6.0 Pa
电机	1.5kW 永磁 DC 密封电机
稳态功耗（极限真空）	0.9 kW
供电规格	单相 AC200~240V 50/60Hz ⚠️重点区分 CR60B-T 三相款
吸气 / 排气法兰	KF40
*容许水蒸气处理量	≤500 g/h（必须开启气镇阀）
整机尺寸	550(L) × 210(W) × 430(H) mm
整机重量	48 kg
噪音	约 65 dB (A)（距离 1m）
润滑油	BARRIERTA J100F E，加注量 140cc（仅齿轮箱润滑，不接触真空腔）
标准配置	进气过滤器、气镇阀、移动脚轮、远程通讯接口
	CE、cTUVus

三、核心产品优势

✅ 无油洁净排气

真空腔体无油，杜绝油蒸气反向污染腔体，*替代油旋片泵用于对洁净度有要求的工艺。

✅ 风冷免水冷设计

不需要外接冷却水，适合实验室、改造设备、现场水源不便的工况。

✅ 标配可调气镇机构

可抽除一定量水蒸气，用于真空干燥、含水汽样品工艺。

✅ 远程控制功能

配备 D-Sub 通讯接口，支持 PLC 远程启停、运行状态反馈、故障报警。

✅ 轻量化带脚轮

方便设备移位，中小型真空机组布局灵活。

四、CR60B-S 与 CR60B-T 关键选型对比

型号	供电	无气镇极限真空	适用场景
CR60B-S	单相 200V	≤3.0 Pa	实验室设备、小型量产设备、现场仅有单相电源
CR60B-T	三相 200V	≤0.5 Pa	连续量产镀膜、高精度真空工艺

外形、管路接口、抽速完全一致，电源与极限真空是核心差异，采购务必确认供电条件。

五、典型应用场景

真空镀膜：溅射、真空蒸发设备分子泵前级粗抽泵
真空干燥、脱泡、小型腔体负压工艺
等离子清洗、材料表面处理设备
分析仪器、半导体中小型真空工位
MEMS、传感器封装制程配套真空机组

⚠️ 使用限制与维护要点

适用气体：仅限洁净空气、氮气等惰性气体；禁止抽吸卤素、强酸、大量粉尘、硅蒸汽，易造成转子磨损腐蚀；腐蚀性工况请选用 ULVAC HR 系列防腐干泵。
抽吸水汽时，必须持续打开气镇阀，防止水汽凝结在齿轮箱。
常规维护周期：
- 进气过滤器：根据粉尘情况定期清洁 / 更换
- 齿轮箱润滑油：建议 8000 小时更换
启动条件：可直接大气压启动，不需要前置初级泵。

六、同系列机型参考

CR16B：16 m³/h，小型桌面设备
CR30B：30 m³/h，实验室主流机型
CR60B-S/T：55 m³/h（本机型）
CR300B：300 m³/h，大型量产产线

七、采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司原装现货供应
负责人：¹⁵⁸¹⁵⁵⁵⁰⁹⁹⁸ （林经理）
公司网站：www.shashinkagaku.com
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学

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