MCPD-9800是日本大冢电子OTSUKA 推出的高速多通道光谱仪是生产线制程监控的主力设备‍玉崎科学仪器现货

MCPD-9800是日本大冢电子OTSUKA 推出的高速多通道光谱仪是生产线制程监控的主力设备‍玉崎科学仪器现货

MCPD 系列是日本大冢电子（OTSUKA） 推出的高速多通道光谱仪，核心用于实时、在线、多点的薄膜厚度与光学特性监测，是生产线制程监控的主力设备大塚科技股份有限公司。

一、核心型号与定位（2026 *）

• MCPD-9800：旗舰高端型
  • 电子冷却 CCD（1024ch）、*低 5ms采样、宽动态、低杂散光
  • 波长：220~1600nm（多版本）
  • 适用：半导体 / 光学薄膜、高精度在线、量子效率
• MCPD-6800：标准通用型大塚科技股份有限公司
  • 热电冷却 PDA（512ch）、16ms~65s采样
  • 波长：220~1000nm（多版本）
  • 适用：通用涂布 / 镀膜、卷对卷薄膜、产线常规质控大塚科技股份有限公司

二、薄膜厚度测量核心参数

• 测量原理：分光反射干涉法（非接触、无损）大塚科技股份有限公司
• 膜厚范围：65nm ~ 92μm（SiO₂换算，依波长版本）
• 层数：单层～多层膜（*支持约 10 层）
• 测量速度：5ms / 次（9800）；16ms / 次（6800）
• 通道配置：单 / 多通道（*多可扩展至 8 点以上同时监测）
• 光斑大小：标配 φ1~5mm；可配显微探头至50μm级

三、波长版本（检测器）

四、系统构成（膜厚监测）

1. 主机：MCPD-9800 / 6800 光谱仪
2. 光学单元：
   • 光纤探头（耐弯曲、长距离）大塚电子(苏州)有限公司
   • 反射 / 透射测量头
   • 在线吹扫、防污、耐高温套件
3. 软件：
   • 实时膜厚、折射率、反射率计算大塚科技股份有限公司
   • 制程数据记录、SPC 管控、报警
   • 多点分布 Mapping、趋势分析

五、典型应用场景

• 半导体 / 显示：CVD/PVD 镀膜、光刻胶、OLED 成膜、滤光片在线监控
• 光学 / 功能膜：AR/AF 膜、硬化涂层、偏光片、卷对卷薄膜生产线
• 汽车 / 建材：漆面、车窗膜、真空镀膜、玻璃镀膜在线质控
• 新能源：光伏减反膜、电池薄膜、封装膜厚度均匀性监测

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