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OPTM 系列是日本大冢电子OTSUKA旗舰级显微分光膜厚仪也常称显微薄膜厚度计玉崎科学仪器原装现货
2026/03/20 17:26:22
OPTM 系列是日本大冢电子 (OTSUKA) 旗舰级显微分光膜厚仪（也常称显微薄膜厚度计），主打微区、纳米级精度、高层数、高速测量，是半导体、*显示、光学镀膜研发与质控的高端设备大塚电子(苏州)有限公司。
一、核心型号与参数（2026 *）
测量原理：显微分光干涉法 / *反射率测量
核心优势：*小光斑 3μm、1 秒 / 点、*多 50 层膜、透明基板可测大塚电子(苏州)有限公司
表格
| 型号 | 波长范围 | 膜厚范围 (SiO₂) | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| OPTM-A1 (标准 UV) | 230～800 nm | 1 nm～35 μm | 薄膜、半导体氧化膜 / 光刻胶大塚电子(苏州)有限公司 |
| OPTM-A2 (可见光) | 360～1100 nm | 7 nm～49 μm | 通用光学膜、显示 ITO/OLED大塚电子(苏州)有限公司 |
| OPTM-A3 (近红外) | 900～1600 nm | 16 nm～92 μm | 厚膜、SiC/GaN、树脂涂层大塚电子(苏州)有限公司 |
二、关键技术特性
- 微区测量：光斑 Φ3～40 μm 可选，测微小点 / 线 / 阵列
- 高精度：重复性 ±0.1 nm 级，精度媲美椭偏仪
- 多层解析：*多 50 层薄膜结构，同时测 n, k 光学常数大塚电子(苏州)有限公司
- 透明基板：反射物镜，消除玻璃 / 石英背面反射干扰大塚电子(苏州)有限公司
- 高速 Mapping：自动 XY 平台，支持面内均匀性分布成像
- 软件友好：初学者模式，一键拟合，无需复杂建模大塚电子(苏州)有限公司
三、规格（A1 标准型）
- 测量时间：≤1 秒 / 点大塚电子(苏州)有限公司
- 样品台：自动 XY (200×200 mm)，Z 轴自动对焦
- 尺寸 / 重量：556×566×618 mm / 66 kg
- 电源：AC 100–240 V, 500 VA
四、价格参考（2026 年，深圳）
- OPTM-A1 (标准)：¥380,000～450,000
- OPTM-A2 (扩展)：¥420,000～480,000
- OPTM-A3 (NIR)：¥480,000～550,000
- 货期：日本原装，10–14 周
五、典型应用
- 半导体：Gate 氧化膜、High-k 膜、光刻胶、钝化膜、SiC 外延
- *显示：Micro-OLED、量子点膜、触控导电膜、偏光片
- 光学 / 光通讯：AR/VR 镀膜、滤光片、波导、DLC、增透膜
- *材料：柔性基板、PI 膜、抗指纹涂层、功能性薄膜
