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ULVAC爱发科CGM-051 气体分析仪
2026/03/02 19:00:28
爱发科（ULVAC）CGM-051 是一款四极质谱仪，属于残余气体分析仪（Residual Gas Analyzer, RGA）。
这类仪器的核心功能是通过分析真空环境中的气体成分，来判断系统状态。因此，CGM-051 并非简单的真空计，而是一台精密的“真空嗅探器”，用于分析真空腔体内残留气体的种类和分压强。
-title-font-weight,600);margin-left:0px;color:#060A26;background-color:#FFFFFF;"> 📋 核心参数
以下是该型号分析仪的关键技术规格：
表格
| 参数项目 | 数值/规格 |
|---|---|
| 型号 | CGM-051 |
| 质量数范围 | 1 ~ 51 amu |
| *小可检测分压强 | < 1×10⁻⁷ Pa |
| 质量标度稳定性 | ±0.1 amu/8小时 |
| 离子源灯丝 | 铸钍钨 (Th-W) |
| 检测器 | 法拉第杯 (可选配电子倍增器) |
-title-font-weight,600);margin-left:0px;color:#060A26;background-color:#FFFFFF;"> ✨ 产品特点
- 高灵敏度：能够检测到极低浓度的气体成分，*小可检测分压强可达 1×10⁻⁷ Pa 量级，非常适合用于高真空和高真空环境的泄漏检测和杂质分析。
- 快速扫描：可以快速扫描 1~51 amu 的质量范围，实时监测真空室内气体成分的变化，帮助工程师判断工艺状态或泄漏源。
- 坚固耐用：采用铸钍钨灯丝，相比普通灯丝具有更长的使用寿命和更好的抗中毒能力，适合在复杂工业环境中长期运行。
- 操作简便：通常配备的控制单元（如 CGM-CP01），通过电脑软件进行操作，界面友好，易于进行谱图分析。
-title-font-weight,600);margin-left:0px;color:#060A26;background-color:#FFFFFF;"> 🏭 主要用途
CGM-051 广泛应用于需要严格控制真空环境纯度的领域：
- 真空系统检漏：通过检测示踪气体（如氦气）的信号，定位真空系统的泄漏点。
- 工艺过程监控：在半导体制造、真空镀膜（PVD/CVD）等工艺中，实时监控反应气体的消耗和副产物的生成，确保产品质量。
- 材料出气分析：在真空热处理或空间模拟环境中，分析材料在真空下释放的气体成分（如水蒸气、碳氢化合物），评估材料的真空适应性。
- 基础科学研究：在物理、化学等实验室中，用于表面科学、催化反应等领域的气体成分分析。
