现货 USHIO牛尾 UVD-S365 紫外线探头 365nm 照度计分体式传感器

日本USHIO牛尾 UVD-S365 紫外线分体式探头目前深圳仓库有原装现货。 在半导体光刻工艺中，曝光光源的能量是否稳定直接决定了光刻胶的显影效果与线宽精度。UVD-S365是一款专为365nm（i-line）波段设计的受光传感器，作为UIT-250或UIT-201主机的核心配件，采用分体式线缆结构，将光电转换元件与显示计算单元分离。这一设计使其能够深入到曝光机内部、光刻镜头下方或狭小的固化工位中，在高温或空间受限的工况下，安全、准确地捕捉紫外光能量。作为日系代理，我们可提供选型咨询、操作指导和配件支持。本文从分体式设计优势、365nm波段特性、探头技术参数与操作要点三个维度进行解析。

一、分体式架构：解决狭小空间与高温工位的测量痛点

传统一体式照度计在进行设备内部测量时，往往受限于表头体积，难以伸入曝光机的狭缝，且内部高温容易导致主机液晶屏损坏或电池膨胀。UVD-S365的分体式架构正是为了解决这些工程难题而设计。

探头入腔，主机外置。 探头仅包含石英窗口、窄带滤光片、光电二极管和微型信号放大电路，体积小巧。测量时，探头通过标准线缆（标配2米，可选配5米、10米、20米延长线）连接至外部的主机。操作人员可将探头直接放置在曝光台面或光刻镜头下方，而主机留在外部环境，避免了高温对显示及计算模块的损害。

多点扫描与均匀性评估。 在评估曝光机台面的照度均匀性时，体积小巧的探头可以轻松放置在台面的不同位置（如中心、边缘、四角），配合主机的照度分布曲线记录功能，绘制出整个曝光区域的能量分布图。这一操作若使用一体式仪器则极难完成。

二、365nm波段特性：i-line曝光的核心测光点

UVD-S365的中心感光波长为365nm，对应汞灯光谱中的i-line。在半导体制造中，i-line曝光常用于0.35μm以上节点特征尺寸的光刻工艺，广泛应用于功率器件、MEMS传感器、化合物半导体以及*封装等领域的图形化制程。

该探头内部集成了高精度窄带干涉滤光片，其作用是将环境中的可见光、红外线以及其他波段的紫外光有效隔离，仅让365nm±10nm区间的光线进入光电传感器。在曝光机内部复杂的混合光谱环境下，这一滤光特性确保了测量数据仅反映i-line的准确能量输出，排除了其他波段对光刻胶感光贡献的干扰。此外，该探头对365nm UV-LED光源同样具有优异的响应能力，适配目前*无汞光源的检测需求。

三、探头核心参数与操作校准要点

技术参数概览

CAL灵敏度值核对。 USHIO的探头在出厂时均经过独立，探头标签上印有专属的CAL灵敏度值（如CAL=1.00）。操作人员在将UVD-S365连接至主机（如UIT-250）后，必须在开机状态下核对主机屏幕显示的数字与探头标签上的数值是否完全一致。若更换探头后未重新输入CAL值，主机计算出的照度和积算光量将出现系统误差。修改CAL值需在关机状态下长按特定按键进入设置模式进行。

安装与清洁。 探头必须在线缆连接至主机且主机关闭的状态下进行插拔，避免带电操作损伤接口电路。石英受光窗若沾染指纹、光刻胶飞溅物或灰尘，会严重衰减紫外光透过率，导致读数偏低。日常清洁应使用无水酒精配合无尘镜头纸轻轻单向擦拭，禁止使用粗糙布料或溶剂。

配合主机进行积算测量。 在光刻工艺点检中，将UVD-S365探头固定在曝光台面上，按下主机的START键启动积分模式，执行一次标准曝光流程后停止。主机屏幕显示的累计能量（mJ/cm²）即为光刻胶实际接收到的曝光剂量。通过定期记录这一积算光量，可以绘制出光源随运行时间的衰减曲线，从而科学制定灯管更换或功率补偿计划，避免盲目按运行时间换灯。

四、现货与技术支持

USHIO牛尾 UVD-S365 紫外线分体式探头目前深圳仓库有原装现货。作为日系代理，我们可提供选型咨询、操作指导和原厂校准服务对接。采购时请确认所需探头数量、线缆长度（如需长线缆需提前说明），以及是否需要配套的UIT-250主机或AC适配器。在要求严格的半导体产线中，建议同时备存备用探头或建立定期送检机制，以确保光刻工艺追溯数据的连续性与可靠性。

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