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玉崎半导体(深圳)有限公司
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首页 >玉崎半导体(深圳)有限公司> 技术文章> LUORO福乐 C003-D-Y-161 导电真空吸笔 自锁保压加长杆

LUORO福乐 C003-D-Y-161 导电真空吸笔 自锁保压加长杆

2026/10/20 18:04:42

在半导体后道封测、8英寸/12英寸晶圆纵深检测以及探针台对位工位上,操作员常常面临一个操作逻辑上的矛盾:一方面,设备腔体内部极深,需要吸笔有足够长的刚性杆身探入,且不能有晃动;另一方面,在显微镜下对位或需要记录数据时,操作员必须腾出双手,但工件不能从吸笔上掉落。如果使用普通常开或常闭吸笔,手指就必须一直保持特定状态,极易疲劳。

FLUORO福乐 C003-D-Y-161 正是为这种“纵深作业+长时间持料”的严苛工况设计的。它属于C系列导电防静电真空吸笔中的 NO+SW自锁阀体版本,配备 Y型固定式直柄接头 与 161mm加长金属导管,在“刚性稳定”与“自锁保压”之间给出了*的工程解答。(注:您标题中的 LUORO 应为 FLUORO 福乐)

核心机构:NO+SW自锁保压,解放双手

C003-D-Y-161 的核心技术特征是 NO+SW(常开+自锁) 阀组系统。
接通真空源后,吸嘴端常态即为吸附状态,无需按压即可吸起工件。其真正的杀手锏在于笔身侧面的独立物理遮断开关。当吸起晶圆后,操作员只需拨动该开关,真空气路即被物理切断,但工件会稳稳保持在吸嘴上不掉落。
此时,操作员的手指可以完全松开,双手去调节显微镜焦距、记录检测数据或操作探针台。处理完毕后拨回开关,即可正常释放工件。这一设计极大地缓解了长时间持料带来的肌肉劳损,也避免了突发掉落造成的晶圆碎裂风险。

结构拆解:161mm加长杆与Y型刚性直柄的力学优势

型号中的 Y 代表固定式直柄接头,161 代表161mm加长金属导管。
相比万向接头(X型),Y型直柄采用刚性直线连接,没有任何活动关节。在拾取8英寸(200mm)甚至12英寸(300mm)大尺寸晶圆时,刚性结构消除了悬持过程中的微小晃动。161mm的长杆设计,让操作员无需将手探入危险的设备腔体深处,即可将吸嘴送达纵深目标位置。垂直下压吸附时,受力完全沿轴线传导,抓取大尺寸薄片不偏移、不打滑,有效降低了边缘崩边的风险。

材质与全链路 ESD 防静电

吸笔构建了从笔身到吸嘴的完整静电泄放通路。笔身采用碳纤维增强导电尼龙树脂,前端搭配导电PEEK吸嘴(可搭配98-CP/99-CP等),表面电阻率稳定在 10⁶~10⁸Ω 的防静电区间。人体摩擦产生的静电荷沿笔身→阀芯→吸嘴安全缓慢地导走,杜绝接触瞬间放电击穿栅氧化层。

系统集成与操作边界

  • 负压源配置:需外接 FV系列无油隔膜真空泵(如FV-60-240高负压款),搭配 851-L 防静电螺旋软管,构成完整的洁净拾取系统。

  • 收纳建议:虽然是自锁款,但放回桌面时仍建议使用 659桌面支架,利用支架机械结构切断气路,减少泵体空载损耗。

  • 工况边界:该吸笔仅限 Class 10~1000 干式无尘环境使用,严禁接触化学流体或水汽。湿法工序需切换至F系列特氟龙材质。

选型咨询: 欢迎留言或私信提供您的晶圆尺寸(如8英寸/12英寸)、工位腔体深度及操作姿态,获取C003-D-Y-161吸笔、适配吸嘴及FV系列真空泵的完整配套方案与报价。


FLUORO福乐 C003-X-...
FLUORO福乐 C002-Y...
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