大流量全氟耐腐模组！DIC 迪爱生 PF‑40F 中空纤维脱气模组

PF‑40F 属于 PF‑F 系列内灌流式全氟耐化学脱气模组，为该系列大流量旗舰型号，对比 PF‑28F 有效膜面积进一步扩大，全部接液部件采用氟树脂材质，面向半导体产线中大流量强酸、强碱、有机溶剂药液，实现在线脱气，同时支持反向溶气工艺，另有‑T 低压损改良版本可供选择。

基础规格

• 处理流量：200‑800mL/min；PF‑40F‑T 低压损款可达 200‑1000mL/min

• 外形尺寸：φ102×560mm

• 液体耐压：0.294MPa，建议长期运行压力≤0.25MPa

• 使用温度：5‑40℃常温区间

• 液体接口：3/8 寸级支柱接头；真空侧 Rc1/8 内螺纹

• 接液材质：PTFE 中空纤维膜、PFA 壳体、FFKM 全氟橡胶密封，无金属接触，耐受各类溶剂与强酸碱。

核心原理

腐蚀性工艺液体通入 PTFE 中空纤维丝内腔，模组外壳外侧接通真空负压，药液内部溶解的氧气、二氧化碳等气体透过 PTFE 膜被真空抽出，液体被膜截留保留在膜丝内部。PTFE 材质耐化学品侵蚀，不会被溶剂、浓酸碱溶胀腐蚀。支持反向冲洗，冲刷膜丝内壁堆积杂质。既可以完成脱氧、脱二氧化碳；外侧通入工艺气体，还能够向药液溶入氮气等气体，可达到 ppb 级深度脱氧效果。

产品主要特点

1. 全氟耐化学构造膜丝、壳体、密封件全部为氟系材料，适配蚀刻液、显影液、剥离液、各类强酸强碱、IPA、NMP 等有机溶剂，规避普通聚烯烃模组被药液腐蚀溶胀失效问题。

2. 大流量处理能力膜面积相比 PF‑28F 大幅提升，可满足半导体产线大流量药液循环工况，减少多支模组并联使用，简化整套管路布局。

3. 脱气溶气双向可用真空模式去除液相溶解气体；外侧通入工艺气体，可直接向腐蚀性药液溶入氮气等工艺气体，一机两用。

4. 支持反向清洗维护液体通路位于膜丝内侧，杂质淤积之后可反向冲洗，清除膜面附着物，延长模组使用寿命。‑T 版本内部流道优化，压力损失更低，适配低压泵循环回路。

5. 无金属离子析出整套接液回路不含金属部件，不会析出金属离子，满足 8‑12 寸晶圆产线精密药液高洁净等级要求。

6. 产线集成便捷圆柱长筒结构，立式、卧式均可安装，适合大型半导体设备机柜内部集成。

主要应用场景

半导体产线大流量蚀刻液、显影液、剥离液循环脱气；高浓度溶剂、光刻胶药液脱泡处理；各类强酸强碱化学药液处理；大型湿法设备腐蚀性试剂主回路；新能源精密腐蚀性药液回路。

使用限制

运行压力不要过 0.294MPa，压力过高存在液体渗透风险；工作温度控制 5‑40℃；液体含有固体颗粒，前端务必配置过滤；不适用于熔融碱金属等极少数会侵蚀 PTFE 的介质。

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