日本 ORC UV-351 一体化 UV 光量计 PCB 半导体汞灯曝光检测仪

UV-351整机实拍

UV-351全套包装

一、产品概述

UV-351 是日本 ORC 奥克制作所一体化手持式紫外检测仪，感光探头与机身集成无连接线，区别于 UV-M03A 分体式机型，机身轻薄小巧，专为传统高压汞灯 UV 曝光产线点检设计，同步检测实时辐照度、峰值照度、累积曝光光量，广泛用于 PCB、半导体、液晶面板汞灯固化 / 光刻设备品质管控。同系列三款细分型号，按需匹配不同紫外波段光源：

1. UV-351（标准款，310~385nm，对标 UV-SD35，市面主流标配）

2. UV-351-25（UVC 款，240~280nm，晶圆清洗、去胶设备）

3. UV-351-42（长波款，350~450nm，厚膜光刻胶、油墨固化）

二、核心技术参数（标准 UV-351）

1. 测量波长：310~385nm，峰值 360nm，匹配工业汞灯光谱

2. 测量量程

• 辐照度：0.1~100.0 mW/cm²

• 累积光量：1~19999 mJ/cm²

3. 测量精度：对比 ORC 标准紫外源误差≤±1.5%，重复精度 ±1.5% 内

4. 机身规格：79 (W)×160 (D)×70 (H) mm，整机仅 180g，金属耐热壳体

5. 工作温度：0~60℃，可直接放入曝光机高温腔体

6. 供电：内置干电池供电，无外接线缆，便携无束缚

7. 测量模式：照度实时显示、峰值照度捕捉、累积光量积分三模式切换

8. 配件标配：收纳铝箱、减光滤镜、校准证书、操作说明书

三、五大核心产品优势

1. 一体化无线缆设计，狭小腔体轻松检测

探头与主机整合，不存在分体式信号线缠绕问题，薄机身可直接伸入立式曝光机、传送带 UV 烘箱内部，狭小死角点位均可*测量，无需拆机停机。

2. 金属耐热机身，适配高温产线环境

整机铝合金外壳耐高温，可短时间放置曝光机腔体内部采集数据，普通塑料外壳检测仪无法对比。

3. 三模式同步监测，管控曝光工艺良率

一键切换照度 / 峰值 / 累积光量，实时追踪汞灯灯管衰减，提前预警光源老化，避免光照异常导致线路显影不良、晶圆报废。

4. 三波段机型全覆盖，一台满足多工序

更换型号即可覆盖 UVC 清洗、标准光刻、长波油墨固化全制程，适配半导体、PCB、光学薄膜全产业链产线。

5. 原厂可溯源校准，满足工厂审厂标准

每台仪器附带独立 JCSS 计量校准证书，检测数据可溯源日本*计量标准，设备验收、客户稽核、车间品质报表均可直接使用。

四、UV-351 与 UV-M03A 核心区分

表格

五、主流应用场景

1. PCB 线路板制造内外层线路曝光、阻焊油墨固化传送带设备日常照度点检；

2. 半导体老式汞灯光刻产线晶圆载板、封装 RDL 布线汞灯曝光机光源衰减监测；

3. 液晶 / TFT 面板行业彩膜、偏光片、触摸屏 UV 固化设备能量校准；

4. 工业印刷与光学涂层UV 油墨印刷、玻璃光学薄膜硬化流水线检测；

5. 实验室研发测试传统汞灯光源、各类光刻胶光敏性能评估实验。

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