VAT徽拓 65.5 HV摆锤控制阀热销

2026/08/17 16:28:45

65.5 HV 摆动式控制阀可提供*且可控的高导通性能。其另一大亮点在于，凭借流畅的启闭动作，实现了极低的颗粒计数与极低的颗粒激活水平。

该阀门专为严苛工艺而设计，适用于半导体生产过程中的腐蚀性蚀刻与清洗等应用，在这些场景中，需要具备高度可控的电导率范围，且初始可控制电导率较低。

65.5 型号提供 DN 250mm（10英寸）规格，可控制至低至仅 2 l/s 的电导率-1由于32位执行器控制器具备强大的数据处理能力，电导率的提升可实现极其精细的调控。此外，该控制器还能提供更快的驱动响应，因为其传感器与控制指令的处理速度远同等规格的16位控制器。控制器配备多种标准接口，便于通过PC或连接至过程控制单元进行便捷操作。

摆动式闸门机构经过精心设计，具有极高的结构强度，以确保能够抵御工艺过程中产生的各类副产物。为降低密封件的磨损、避免颗粒的产生及颗粒的活化，其启闭动作被分段实现：首先通过垂直方向远离闸座的运动达到初始的导通状态，随后再通过摆动式闸门的水平移动进一步提升导通程度。由于闸门运动具有极高的可控性，预设的运动序列可依据工艺需求进行极为的调整。为确保严密密封，闸门通过一根特殊的压紧杆被压向闸座，从而在闸门的各个部位均实现均匀的密封压力。

凭借紧凑的结构设计、直接安装选项以及多种其他选配方案，65.5系列可轻松集成到各类真空工艺中。

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