VAT徽拓 64.8 特高压控制截止阀

VAT徽拓 64.8 特高压控制截止阀

VAT徽拓 64.8 特高压控制截止阀

64.8型高真空控制闸阀系列专为半导体生产中的溅射或EUV等工艺应用而设计，可在高真空环境下实现可靠、*的控制与隔离。该产品在耐用性、模块化、密封性和可维护性等方面均满足行业标准要求，并特别注重设备的高可用性和低拥有成本。

64.8配备VATLOCK技术，可在阀板处实现无摩擦的可靠密封。阀板同时充当节流元件，调节阀门开度的导通率。内置压力控制器根据设定值计算出所需的阀板位置，以达到目标压力。步进电机负责执行驱动动作，编码器实时监测阀板位置，从而确保过程压力控制快速且*。在关闭位置，特殊的VATLOCK锁定机构可在断电情况下实现严密的密封隔离，并保证安全可靠的闭合状态。

通过金属罩式密封、波纹管密封的馈通以及硫化板密封（可选O形圈），实现了高真空性能。

64.8型已在各类工艺工况下、数千个严苛应用中得到广泛部署，其*的可靠性已得到充分验证。凭借坚固耐用且无需润滑的设计，它完全满足高循环真空控制闸阀的各项性能要求。

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