VAT徽拓 64.2 HV控制闸阀 进口

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64.2 HV 控制闸阀专为半导体生产中的溅射或刻蚀等高循环真空工艺设计，可实现可靠、*的控制与隔离。该产品在满足耐用性、模块化与易维护等通用要求的同时，特别注重设备的高运行率与低拥有成本。
64.2型阀门配备VATLOCK技术，可在阀板处实现无摩擦的可靠密封。阀板同时充当节流元件，调节阀门开度的导通率。内置压力控制器根据设定的压力值计算出所需的阀板位置。步进电机通过编码器实时监测阀板位置来实现驱动，从而确保过程压力控制快速且*。在关闭位置采用特殊的VATLOCK锁定机构，可在断电情况下实现可靠的密封隔离与安全闭合。
该产品已在数千种严苛工况下的各类应用中得到广泛部署，其*的可靠性已得到充分验证。凭借其坚固耐用的设计，完全满足高循环真空控制闸阀的各项性能要求。

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