VAT徽拓 61.3 HV 蝶阀热销

2026/08/17 11:58:15

VAT徽拓 61.3 HV 蝶阀热销

61.3 HV 蝶阀具有*的压控性能。凭借其快速且*的动作控制（响应时间仅0.1秒），是CVD和ALD工艺中实现精细控制的理想之选。阀板作为节流元件，可调节阀门开度的导通率。61.3型集成式压力控制器可计算出使系统达到设定压力所需的膜片位置，以尽可能快的速度实现目标压力。

它专为气体流中存在颗粒的严苛下游工艺而设计。凭借其的结构设计，61.3 即使在高颗粒负荷和杂物积聚的情况下也能保持全速运行。

61.3系列已在各类工艺工况下、数千个严苛应用中得到广泛部署，其*的可靠性已得到充分验证。凭借坚固耐用的结构设计、直接安装选项以及维护简便、成本降低等优势，61.3系列在各方面均表现*。

在本体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、下游PI固定/软泵）等方面提供多种设计方案，从而简化了其在各类真空应用中的集成。

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