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日本爱发科ULVAC CRYO-U6H 低温泵深圳京都玉崎现货

2026/07/17 09:29:22

日本爱发科ULVAC CRYO-U6H 低温泵深圳京都玉崎现货

溅射/成膜/空间模拟高真空怎么选？ULVAC CRYO-U6H低温泵，N₂抽速450~28000L/s，FPD/半导体/光学/研发

开篇：分子泵抽不动的气体，低温泵才是正解

溅射镀膜、FPD面板制造、半导体工艺、空间环境模拟——这些场景需要的是高真空（10⁻⁷ Pa级）和大抽速，尤其对于水蒸气、氢气等分子泵难以高效抽除的气体，低温泵具有压倒性优势。很多工程师选型时只盯着分子泵，遇到水蒸气抽不动、氢气抽速不够就束手无策。

更隐蔽的坑：低温泵的工作原理是通过极低温表面冷凝来捕集气体，不同气体的抽速差异极大。CRYO-U系列对水蒸气的抽速是氮气的3倍以上，对氢气的抽速也远同口径分子泵。选型时不看目标气体的抽速，只看氮气抽速，买回去发现水蒸气抽速不够、工艺压力下不去。还有，CRYO-U系列一台压缩机*多可驱动四台低温泵，选型时不考虑多泵共用压缩机的方案，成本直接翻倍。

ULVAC CRYO-U系列低温泵，采用2段式GM制冷机，能够制造出高真空乃至高真空。根据FPD、半导体、电子设备、光学、研究开发等应用领域的不同，提供从小型到大型的广泛产品阵容。抽速覆盖氮气450~28000 L/s，极限压力10⁻⁷ Pa（10⁻⁹ Torr）。

全系列核心型号参数对比

型号	口径	N₂抽速(L/s)	H₂抽速(L/s)	Ar抽速(L/s)	H₂O抽速(L/s)	极限压力	重量(kg)	压缩机
CRYO-U4H	4英寸	450	500	370	1,100	10⁻⁷ Pa	14.5	C10系列
CRYO-U6H	6英寸	750	1,100	620	2,100	10⁻⁷ Pa	19	C10系列
CRYO-U8H	8英寸	1,700	2,700	1,400	4,000	10⁻⁷ Pa	20.8	C10系列
CRYO-U8H-U	8英寸	1,700	2,700	1,400	4,000	10⁻⁷ Pa	20.3	C10系列
CRYO-U8HL	8英寸	1,500	2,200	1,200	4,000	10⁻⁷ Pa	20	C10系列
CRYO-U8HSP	8英寸	—	3,200	1,400	4,000	10⁻⁷ Pa	—	—
CRYO-U10H	10英寸	2,400	3,600	2,000	6,900	10⁻⁷ Pa	29	C10系列
CRYO-U12H	12英寸	4,000	6,000	3,300	9,500	10⁻⁷ Pa	40	C30VRT
CRYO-U12HL	12英寸	4,000	6,800	3,300	9,500	10⁻⁷ Pa	40	C30VRT
CRYO-U12HSP	12英寸	4,100	6,000	3,400	9,500	10⁻⁷ Pa	42	C30VRT
CRYO-U16	16英寸	5,000	10,000	4,200	16,000	10⁻⁷ Pa	61	C30VRT
CRYO-U16P	16英寸	5,000	10,000	4,200	16,000	10⁻⁷ Pa	61	C30VRT
CRYO-U20P	20英寸	10,000	18,000	8,400	29,000	10⁻⁷ Pa	—	C30系列
CRYO-U20H	20英寸	10,000	18,000	8,400	29,000	10⁻⁷ Pa	—	C30系列
CRYO-U22P	22英寸	11,500	14,000	9,700	39,000	10⁻⁷ Pa	115	C30PVRT
CRYO-U22H	22英寸	—	—	—	—	10⁻⁷ Pa	—	—
CRYO-U22WB	22英寸	13,000	16,500	11,000	39,000	10⁻⁷ Pa	125	C30PMVRT
CRYO-U30H	30英寸	28,000	43,000	23,000	70,000	10⁻⁷ Pa	175	C30VRT×2

数据来源：ULVAC*（ulvac.com.vn 、ULVAC SHOWCASE 、ULVAC CRYOGENICS ）

注1：极限压力均为10⁻⁷ Pa（10⁻⁹ Torr）
注2：CRYO-U8HSP为溅射镀膜型，CRYO-U12HSP氩气抽速约为标准型号的2倍，氢气抽速约为1.5倍
注3：CRYO-U8H-U与CTI的CT-8兼容
注4：CRYO-U30H、U22H出口需日本经济产业省许可

一、CRYO-U4H / U6H：小型低温泵，研发/实验室/小型溅射标配

CRYO-U4H 是CRYO-U系列*小型，氮气抽速 450 L/s，重量仅 14.5 kg。CRYO-U6H 氮气抽速 750 L/s，重量 19 kg。

极限压力 10⁻⁷ Pa
对水蒸气抽速分别达 1,100 L/s 和 2,100 L/s
一台压缩机*多可驱动四台低温泵
特别适用于半导体制造设备和小型设备中的溅射工艺
轻量·紧凑，适用于实验室和研究室的小型真空设备

适合谁：小型溅射设备、研发实验室、表面分析仪器、小型电子器件制造。

二、CRYO-U8H / U8H-U / U8HL / U8HSP：8英寸主力，溅射工艺黄金选择

CRYO-U8H 氮气抽速 1,700 L/s，氢气 2,700 L/s，水蒸气 4,000 L/s。CRYO-U8H-U 与CTI的CT-8兼容，便于旧设备替换。CRYO-U8HSP 为溅射镀膜型，氢气抽速达 3,200 L/s。

重量约 20 kg
冷却下降时间 100/90 min（50/60Hz）
维护周期 16,000小时
压缩机：C10系列

适合谁：半导体溅射设备、FPD制造、光学镀膜、一般真空工艺。

三、CRYO-U10H / U12H / U12HL / U12HSP：中大型低温泵，大抽速主力

CRYO-U10H 氮气抽速 2,400 L/s。CRYO-U12H 氮气抽速 4,000 L/s，水蒸气 9,500 L/s。CRYO-U12HSP 为溅射镀膜型——氩气抽速约为标准型号的2倍，氢气抽速约1.5倍。

CRYO-U12HSP氩气抽速3,400 L/s，远标准型号
有效延长再生间隔时间，提高装置运转率
压缩机：C30VRT
维护周期 16,000小时

适合谁：中型溅射设备、FPD面板制造、半导体工艺、真空镀膜。

四、CRYO-U16 / U16P：大型低温泵，16英寸口径高负荷

CRYO-U16 氮气抽速 5,000 L/s，氢气 10,000 L/s，水蒸气 16,000 L/s。CRYO-U16P 是CRYO-U16的高负荷版本。

*适用于中、大型设备及批量型大型成膜设备
热负荷能力强
吸气口法兰：UVG-400
压缩机：C30VRT
重量 61 kg
维护周期 16,000小时

适合谁：大型溅射设备、批量型成膜设备、光学镀膜生产线。

五、CRYO-U20P / U20H / U22P / U22H / U22WB：大型低温泵

CRYO-U20P / U20H 氮气抽速 10,000 L/s，氢气 18,000 L/s。

CRYO-U22P 氮气抽速 11,500 L/s，水蒸气 39,000 L/s。CRYO-U22WB 氮气抽速 13,000 L/s，氢气 16,500 L/s，氩气 11,000 L/s。

CRYO-U22P重量 115 kg
CRYO-U22WB重量 125 kg
吸气口法兰：UVG-550
适用于大型成膜生产设备
CRYO-U22H出口需日本经济产业省许可

适合谁：大型FPD生产线、大型成膜设备、高吞吐量工业真空系统。

六、CRYO-U30H：*号低温泵，工业级高抽速

CRYO-U30H 是CRYO-U系列*号，氮气抽速 28,000 L/s，氢气 43,000 L/s，水蒸气 70,000 L/s。

极限压力 10⁻⁷ Pa
吸气口法兰：VG-750
压缩机：C30VRT × 2台
重量 175 kg
适用于大型成膜系统、太空模拟舱等
出口需日本经济产业省许可

适合谁：大型成膜系统、太空环境模拟舱、半导体大型产线、研究机构大型真空系统。

七、CRYO-U系列共同优势：高真空 + 大抽速 + 多泵驱动

CRYO-U系列是ULVAC采用2段式GM制冷机的低温泵，能够制造出高真空乃至高真空。六大核心优势：

高真空：极限压力 10⁻⁷ Pa（10⁻⁹ Torr）
对水/氢抽速极大：对水蒸气的抽速是氮气的3倍以上，对氢气抽速也远同口径分子泵
一台压缩机驱动多台泵：一台压缩机*多可驱动四台低温泵，大幅降低系统成本
高抽速提高生产率：高抽速有助于提高抽气效率和生产率
口径覆盖4~30英寸：从小型研发设备到大型工业产线，全场景覆盖
维护周期长：标准维护周期 16,000小时
安装方位灵活：CRYO-U系列（除U30、U22以外）因使用小型氦气制冷机，可在任何方位进行安装

八、工程师选型避坑：CRYO-U系列怎么选

选型四步法：

确认目标气体：需要高效抽除水蒸气、氢气 → 低温泵是比分子泵更优的选择；只需要抽氮气/氩气 → 分子泵可能足够
算抽速：小型设备/研发 → U4H/U6H（450~750 L/s）；中型溅射 → U8H/U10H（1,700~2,400 L/s）；大型成膜 → U12H/U16（4,000~5,000 L/s）；大型产线 → U20P/U22WB/U30H（10,000~28,000 L/s）
确认型号：溅射镀膜工艺 → 优先考虑 U8HSP 或 U12HSP（氩气抽速翻倍、氢气抽速提升50%）
确认压缩机配置：一台压缩机*多可驱动四台泵——多泵系统可共用压缩机，显著降低成本

*不能做的事：

把低温泵当分子泵用——工作原理完全不同，低温泵需要定期再生
忽视再生周期——低温泵捕集气体后会饱和，需要定期加热再生，否则抽速下降
氮气抽速够用就以为水蒸气也够——水蒸气抽速是氮气的3倍以上，选型时一定要看目标气体的抽速
单泵配单压缩机——多泵系统应评估共用压缩机的方案，节省成本
U30H/U22H出口忽视许可——需日本经济产业省许可

九、供货与服务保障

授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商
发货地：深圳仓 / 上海仓直发
供货周期：CRYO-U系列订货4~6周
配套一站式采购：压缩机单元（C10/C30VRT/C30PVRT/C30PMVRT）、移动托盘（选配）、KF/ISO法兰管路、再生系统配件
技术支持：免费提供选型建议、抽速计算、压缩机配置方案、安装指导、再生周期评估

十、落地适配全场景

半导体制造：溅射工艺、刻蚀工艺
FPD面板制造：平板显示器成膜
真空镀膜：光学镀膜、溅射镀膜、蒸发镀膜
电子设备：电子器件制造
光学：光学元件镀膜
研究开发：实验室高真空系统、表面分析
大型系统：太空环境模拟舱、大型成膜系统

十一、结尾转化

高真空低温泵选型怕抽速算错、怕压缩机配不对、怕型号太多分不清？

ULVAC CRYO-U4H / U6H / U8H / U10H / U12H / U16 / U20P / U22WB / U30H 低温泵系列，深圳京都玉崎订货直发，工程师可协助出具《CRYO-U系列选型确认表》及压缩机配置方案。

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