日本爱发科ULVAC PRC-018A 机械增压泵 深圳京都玉崎现货
日本爱发科ULVAC PRC-018A 机械增压泵 深圳京都玉崎现货
日本爱发科ULVAC PRC-018A 机械增压泵 深圳京都玉崎现货
半导体/液晶洁净工艺罗茨泵怎么选？ULVAC PRC-018A，抽速覆盖280~2700m³/h，屏蔽电机零漏油，洁净室
开篇：普通罗茨泵用在洁净室，漏油一次整批报废
半导体刻蚀、液晶面板制造、PVD/CVD——这些场景对洁净度的要求是零容忍。普通机械增压泵（罗茨泵）的轴封处存在漏油风险，一旦油污染进入腔体，整批晶圆或面板直接报废。很多工程师选罗茨泵只看抽速，忽略了密封方式和洁净度适配性。
更隐蔽的坑：PRC系列采用屏蔽电机（Canned Motor） ，电机与泵体之间没有机械密封，从根本上杜绝了轴封漏油。而市面上很多普通罗茨泵依然使用传统机械密封，长期运行后密封老化漏油，洁净室环境根本无法接受。选型时不看电机类型，把普通罗茨泵装进洁净室，漏油风险等同于定时炸弹。
ULVAC PRC-003A / PRC-006A / PRC-012A / PRC-018A / PRC-036C 机械增压泵（罗茨泵），专为对清洁度有特别要求的半导体和液晶制造工艺设计。采用屏蔽电机，轴封零漏油；泵腔内无油，处理水蒸气/溶剂蒸气时性能稳定。抽速覆盖280~2700 m³/h，可选大气压启动型（选配变频器）缩短排气时间。
五款型号核心参数对比
| 项目 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C |
|---|---|---|---|---|---|
| *抽速 (50Hz) | 280 m³/h (4670 L/min) | 500 m³/h (8330 L/min) | 1000 m³/h (16700 L/min) | 1500 m³/h (25000 L/min) | 2700 m³/h（组合机型） |
| *抽速 (60Hz) | 330 m³/h (5500 L/min) | 600 m³/h (10000 L/min) | 1200 m³/h (20000 L/min) | 1800 m³/h (30000 L/min) | — |
| 极限压力 | 4.0×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa | 0.67 Pa |
| *吸气压力 (50Hz) | 1.2×10³ Pa | 1.3×10³ Pa | 1.2×10³ Pa | — | — |
| *允许压差 (50Hz) | 4.0×10³ Pa | 7.3×10³ Pa | 4.3×10³ Pa | — | — |
| 电机功率 | 0.75 kW (2极) | 2.2 kW (2极) | 3.7 kW (2极) | 5.5 kW (2极) | — |
| 使用油 | ULVOIL R-42 / SMR-100 | 同左 | 同左 | 同左 | — |
| 油量 | 0.7 L | 1.5 L | 1.9 L | — | — |
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
| 冷却水流量 | 2 L/min | 3 L/min | 3 L/min | — | — |
| 冷却水温度 | 5～30℃ | 同左 | 同左 | — | — |
| 吸气口径 | VG80相当 / ISO80F(可选) | VG80 / ISO80F(可选) | VG100 / ISO100F(可选) | VG150 / ISO160F(可选) | — |
| 重量 | 51 kg | 86 kg | 118 kg | 150 kg | — |
| 外形尺寸 (W×D×H) | 296×575×260 mm | 356×619×320 mm | 406×759×340 mm | 406×989×340 mm | — |
| 标准前级泵 | VD601 | VD901 | — | — | — |
注1：极限压力为皮拉尼真空计测定值。
注2：PRC-036C通常作为UR/HR/LR系列组合机型的机械增压泵部分使用（如UR3601-TT配PRC-036C-T），*抽速2700 m³/h。
一、PRC-003A：小型洁净罗茨泵，半导体/液晶工艺入门标配
PRC-003A *抽速 280 m³/h（50Hz）/ 330 m³/h（60Hz） ，极限压力 4.0×10⁻¹ Pa。适合小腔体、对洁净度有严格要求的半导体/液晶制造场景。
适合谁：小型半导体制造设备、液晶面板工艺腔体、分析仪器、检漏系统、真空干燥。
二、PRC-006A：中型洁净罗茨主力，抽速500m³/h
PRC-006A *抽速 500 m³/h（50Hz）/ 600 m³/h（60Hz） ，极限压力 6.7×10⁻¹ Pa。抽速接近PRC-003A的两倍，适合中等规模洁净真空系统。
适合谁：中型半导体制造设备、液晶面板制造、溅射设备、蒸镀设备、离子镀。
三、PRC-012A：中大型洁净罗茨，1000m³/h大抽速
PRC-012A *抽速 1000 m³/h（50Hz）/ 1200 m³/h（60Hz） ，极限压力 6.7×10⁻¹ Pa。抽速是PRC-006A的两倍，适合大腔体洁净真空系统。
适合谁：大型半导体制造设备、大型液晶面板产线、真空干燥机、冷冻干燥机、真空脱气。
四、PRC-018A：大型洁净罗茨，1500m³/h高抽速
PRC-018A *抽速 1500 m³/h（50Hz）/ 1800 m³/h（60Hz） ，极限压力 6.7×10⁻¹ Pa。PRC-A系列*单台型号，适合大型洁净真空系统。
适合谁：大型半导体制造设备、大型液晶面板产线、真空热处理炉、熔炼炉。
五、PRC-036C：组合机型用大型罗茨，2700m³/h
PRC-036C 通常作为UR/HR/LR系列组合机型的机械增压泵部分使用。例如UR3601-TT干式真空泵机组即配备PRC-036C-T机械增压泵，*抽速 2700 m³/h。
适用于大型半导体制造、液晶面板产线
可带气镇功能（可询价）
PRC-036C(T)、PRC-036D等子型号对应不同配置
适合谁：大型半导体/液晶制造产线、UR3601-TT等大型干式泵机组的组成部分。
六、PRC系列共同优势：屏蔽电机零漏油 + 无油泵腔 + 耐腐蚀表面处理
PRC系列是ULVAC专为半导体和液晶制造工艺设计的机械增压泵。五大核心优势：
七、工程师选型避坑：PRC系列怎么选
选型四步法：
确认洁净度要求：半导体/液晶/洁净室应用 → PRC系列（屏蔽电机零漏油）；一般工业应用（无洁净要求）→ PMB系列（通用机械增压泵）
算抽速：小腔体（280 m³/h级）→ PRC-003A；中型（500 m³/h级）→ PRC-006A；大型（1000 m³/h级）→ PRC-012A；大型（1500 m³/h级）→ PRC-018A；组合机型配套 → PRC-036C
确认前级泵匹配：前级泵抽速应为PRC泵设计抽速的 1/3 ~ 1/8。PRC-003A标准前级泵为VD601，PRC-006A标准前级泵为VD901
*不能做的事：
在洁净室使用普通机械密封罗茨泵——漏油风险不可接受
PRC系列不接冷却水运行——过热损坏
前级泵抽速不匹配（小于PRC泵抽速的1/8或大于1/3）——无法正常工作或效率低下
八、供货与服务保障
授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商
发货地：深圳仓 / 上海仓 直发
供货周期：PRC系列 订货4~6周
配套一站式采购：ULVOIL R-42/SMR-100油、KF/ISO-K法兰管路、冷却水系统配件、变频器（大气压启动型选配）
技术支持：免费提供前级泵匹配计算、洁净室选型建议、冷却水条件评估、安装指导
九、落地适配全场景
半导体制造：刻蚀、CVD、PVD工艺
液晶/平板显示：FPD制造、液晶注入
十、结尾转化
半导体/液晶洁净罗茨泵选型怕漏油、怕前级泵配不对？
ULVAC PRC-003A / 006A / 012A / 018A / 036C 机械增压泵，深圳京都玉崎订货直发，屏蔽电机零漏油，工程师可协助出具《PRC系列选型确认表》及前级泵匹配方案。
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