日本爱发科ULVAC Gatch SH2-2离子计 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC Gatch SH2-2离子计 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC Gatch SH2-2离子计 深圳京都玉崎现货

真空度测量怕传感器损耗？ULVAC Gatch系列SH2-2，无灯丝/长寿命/宽量程，半导体/真空炉/镀膜工艺压力监控

开篇：真空计选错，工艺压力测不准、产品良率上不去

半导体刻蚀、真空镀膜、真空热处理——这些工艺对真空度的要求极其严苛。真空计测不准，工艺参数全白搭。很多工程师选真空计只看价格，忽略了测量范围和传感器寿命——冷阴极无灯丝寿命长但量程有限，热阴极精度高但灯丝会老化断裂。

更隐蔽的坑：Gatch系列分SC1/SC1-N（冷阴极） 、SH2-1/SH2-2（复合离子计） 和ST200（热阴极电离计） 三大类。SC1-N是冷阴极，无灯丝、寿命长；SH2系列是复合离子计，可连接不同测量范围的传感器；ST200是热阴极三极管型，精度更高。选型时没搞清楚自己需要冷阴极还是热阴极、测量范围多大，买回去要么测不到极限压力、要么频繁换传感器。

ULVAC Gatch系列，覆盖冷阴极电离计、复合离子计、热阴极电离计三大类型，测量范围从大气压到高真空（10⁵~10⁻⁸Pa），满足不同真空工艺的测量需求。

五款型号核心参数对比

一、SC1 / SC1-N：冷阴极电离计，无灯丝长寿命

SC1/SC1-N 是ULVAC Gatch系列冷阴极电离真空计。因为未使用灯丝，所以无需担心传感器的损耗，维修简单、运行成本低。

• 无需显示仪表，可接入PLC显示

• 使用电源 DC24V，维修简单

• 能实现模拟信号输出和开关信号（2点）输出

• 测量范围 1.0×10⁻⁵ ~ 1.0 Pa

• SC1重量 430g（不含规管）；SC1-N重量仅 330g（不含规管）

SC1 vs SC1-N 区别：

• SC1：日本产，适用规管C-21/23/24/25

• SC1-N：产，适用规管C-25-N

适合谁：半导体、光学和电子零件制造的精密真空设备的过程控制，熔解炉等工业设备的低真空范围过程控制。

二、SH2-1 / SH2-2：G-TRAN复合离子计，宽量程10⁵~5×10⁻⁸Pa

SH2系列是ULVAC G-TRAN系列复合离子真空计，可连接不同测量范围的测定子，大幅控制使用成本。有三种模式可供选择：①SH2单体模式（B-A规管单独）、②SPU组合模式（皮拉尼真空计+B-A规管）、③SAU组合模式（皮拉尼+大气压传感器+B-A规管）。

SH2-1：

• 测量范围 10⁵ ~ 5×10⁻⁸ Pa（SPU・SAU同时使用的情况下）

• 设定点3点输出

• 测定值输出：DC 0~10V Log输出

• 对应 CE标准

SH2-2：

• 与SH2-1性能一致，额外增加 RS232C/RS485串行通信规格

适合谁：太阳能电池、FPD、半导体、电子器件等各种制造设备的高真空领域工艺控制。

三、ST200系列：热阴极电离计，三极管型长寿命

ST200是ULVAC 热阴极电离真空计，三极管型电离规，不易发生灵敏度下降，即使在恶劣环境下也能实现更长时间、更的真空测量。控制器体积比上一代缩小56%，达到同级别*小。

三种规格可选：

• ST200-A：模拟输出规格

• ST200-R：串行通信规格（RS232C/RS-485）

• ST200-E：EtherCAT规格

• 测量范围 10⁵ ~ 10⁻⁵ Pa（选配SWU10-R时）

• 设定点3点输出

• 灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率可提前预警

• 世界*金属型三极管离子规：即使在恶劣环境下也能实现长寿命

• 适用传感器：SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25) 

适合谁：OLED・触控面板等制造设备的极限压力确认及工艺控制、真空炉等各种工业真空设备的极限压力确认。

四、Gatch系列共同优势：模块化设计 + 低运行成本

Gatch系列是ULVAC真空计产品线，覆盖冷阴极、复合离子、热阴极三大类型。三大核心优势：

• 模块化设计：可连接不同测量范围的传感器头，一个控制器适配多种规管

• 低运行成本：冷阴极无灯丝（SC1/SC1-N）、热阴极长寿命设计（ST200），大幅降低更换频率

• 丰富输出方式：模拟输出、串行通信、EtherCAT，适配不同控制系统

五、工程师选型避坑：Gatch系列怎么选

选型三步法：

1. 先定类型：需要无灯丝、长寿命、低成本 → SC1/SC1-N（冷阴极）；需要宽量程10⁵~10⁻⁸Pa → SH2-1/SH2-2（复合离子）；需要高精度、热阴极 → ST200系列

2. 再定输出方式：只需模拟信号 → SH2-1 / ST200-A；需要串口通信 → SH2-2 / ST200-R；需要EtherCAT → ST200-E

3. 确认测量范围：SC1/SC1-N仅覆盖10⁻⁵~1Pa，无法测大气压；SH2和ST200可覆盖大气压到高真空

*不能做的事：

• 用SC1/SC1-N测大气压——量程损坏传感器

• 在含卤素腐蚀性气体中使用ST200——必须先咨询ULVAC

• 冷热阴极混用——原理不同，不可互换

六、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：SC1 / SC1-N / SH2-1 / SH2-2 常用规格 现货；ST200系列 订货 2~3周

• 配套供应：适用规管（C-25-N、SWT-16、SWT-25）、SPU/SAU单元、通信电缆、显示单元

• 技术支持：免费提供选型建议、安装指导、信号输出配置指导

七、落地适配全场景

• 半导体制造：刻蚀、CVD、PVD工艺压力监控

• 真空镀膜：蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀

• 真空热处理：真空炉、烧结炉、退火炉

• 平板显示：OLED、触摸屏制造设备

• 电子器件：太阳能电池、电子元件制造

八、结尾转化

真空测量选型怕类型选错、怕量程不够？

ULVAC Gatch系列SC1 / SC1-N / SH2-1 / SH2-2 / ST200-A/R/E，深圳京都玉崎现货/订货直发，配套适用规管及通信电缆同步供应，工程师可协助出具《真空计选型确认表》。

立即私信或留言，发送您的工艺压力范围 + 输出方式要求 + 气体类型，我们免费出具选型建议！

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