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首页 >深圳京都玉崎电子有限公司> 技术文章> 日本爱发科ULVAC CR16B风冷无油干式真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC CR16B风冷无油干式真空泵 深圳京都玉崎现货

2026/07/15 10:04:14

日本爱发科ULVAC CR16B风冷无油干式真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC CR16B风冷无油干式真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC CR16B风冷无油干式真空泵 深圳京都玉崎现货



风冷无油干式真空泵怎么选?ULVAC CR16B / 30B / 60B-S / 60B-T / 300B,抽速覆盖16~300m³/h,无需冷却水/氮气,溅射/蒸发/真空干燥

干式泵非要接水接气?风冷无油才是真省心

溅射镀膜、蒸发镀膜、真空干燥、洁净气体排气——这些场景需要的是洁净无油的干式真空泵。很多工程师选干式泵默认要接冷却水和氮气,厂务条件不满足就放弃,被迫用油泵污染腔体。

更隐蔽的坑:CR系列分 CR60B-S 和 CR60B-T 两种型号——S为单相200V,T为三相200V。选型时不注意电源规格,买回去电压对不上,要么退货要么加变压器。还有,CR系列气镇阀为选配件,需要抽除水蒸气的工艺必须提前选配,不然后期加装麻烦。

ULVAC CR16B / CR30B / CR60B-S / CR60B-T / CR300B 多级罗茨型干式真空泵,风冷设计,无需冷却水和氮气。泵头内部完全无油,转子与气缸无接触运行,符合CE、cTUVus国际标准。

五款型号核心参数对比

项目CR16BCR30BCR60B-SCR60B-TCR300B
*抽速16 m³/h (280 L/min)30 m³/h (500 L/min)55 m³/h (920 L/min)55 m³/h (920 L/min)300 m³/h (5000 L/min)
极限压力*≤ 3.0 Pa≤ 3.0 Pa≤ 3.0 Pa≤ 3.0 Pa≤ 0.5 Pa
电机功率0.72 kW0.72 kW1.5 kW1.5 kW3.0 kW
电源单相100V/200V 或 三相200V单相200V三相200V三相200V三相200V
吸气口径KF25KF25KF40KF40KF50
排气口径KF25KF25KF40KF40KF40
重量35 kg35 kg48 kg48 kg100 kg
冷却方式风冷风冷风冷风冷风冷
*耐水蒸气量**< 300 g/h< 300 g/h< 500 g/h< 500 g/h< 500 g/h
适用标准CE、cTUVusCE、cTUVusCE、cTUVusCE、cTUVusCE、cTUVus

数据来源:ULVAC越南*、ULVAC SHOWCASE

注:极限压力为无气镇气体时的测量值。
注:*耐水蒸气量为使用气镇时的数值,水蒸气排气时务必使用气镇机构。*
⚠️ 关键提醒:
CR60B-S为单相200V,CR60B-T为三相200V**。选型时务必确认现场电源规格!

一、CR16B:小型风冷干泵,洁净排气/实验室标配

CR16B *抽速 16 m³/h(280 L/min) ,极限压力 ≤ 3.0 Pa。适合小腔体、对洁净度要求高的场景——实验室真空系统、小型溅射设备、分析仪器。

  • 电机功率仅 0.72 kW,能耗极低

  • 重量仅 35 kg

  • 吸气/排气口径均为 KF25

  • 电源可选:单相100V/200V 或 三相200V

  • 风冷设计,无需冷却水和氮气

  • 可选配气镇机构,用于抽除水蒸气

  • *耐水蒸气量 < 300 g/h

适合谁:实验室真空系统、小型溅射设备、蒸发镀膜设备、分析仪器、洁净气体排气。

二、CR30B:中型风冷干泵,单相200V

CR30B *抽速 30 m³/h(500 L/min) ,极限压力 ≤ 3.0 Pa。抽速比CR16B提升近一倍,适合中等规模真空设备——中型溅射机、蒸发镀膜机、真空干燥箱。

  • 电机功率 0.72 kW

  • 重量 35 kg

  • 吸气/排气口径均为 KF25

  • 电源:单相200V——现场只有单相电的*选择

  • 风冷设计,无需冷却水和氮气

  • *耐水蒸气量 < 300 g/h

适合谁:中型溅射设备、蒸发镀膜设备、真空干燥箱、洁净气体排气系统。

三、CR60B-S / CR60B-T:中大型风冷干泵,抽速55m³/h

CR60B-S / CR60B-T *抽速 55 m³/h(920 L/min) ,极限压力 ≤ 3.0 Pa。抽速是CR30B的近两倍,适合大腔体、高抽速需求的洁净真空场景——大型溅射机、蒸发镀膜机、真空干燥设备。

  • 电机功率 1.5 kW

  • 重量 48 kg

  • 吸气/排气口径均为 KF40

  • *耐水蒸气量 < 500 g/h

CR60B-S vs CR60B-T 核心区别:

  • CR60B-S:单相200V电源

  • CR60B-T:三相200V电源

适合谁:大型溅射设备、大型蒸发镀膜设备、真空干燥设备、半导体制造辅助设备。

四、CR300B:工业级大抽速风冷干泵,300m³/h

CR300B *抽速 300 m³/h(5000 L/min) ,极限压力 ≤ 0.5 Pa。CR系列*号,极限压力比小号型号低一个数量级,适合对极限压力要求更高的大腔体场景——大型真空镀膜生产线、半导体制造设备、大型真空干燥系统。

  • 电机功率 3.0 kW

  • 重量 100 kg

  • 吸气口径 KF50,排气口径 KF40

  • 电源:三相200V

  • *耐水蒸气量 < 500 g/h

适合谁:大型真空镀膜生产线、半导体制造设备、大型真空干燥系统、工业级洁净排气。

五、CR系列共同优势:风冷无油 + 无需水/氮气 + CE/cTUVus

CR系列是ULVAC多级罗茨型风冷干式真空泵,获得国际标准(CE、cTUVus)。五大核心优势:

  • 完全无油:泵头内部无油,转子与气缸无接触运行,确保稳定运行并延长使用寿命

  • 风冷设计,无需冷却水和氮气:大幅降低运行成本和基础设施要求

  • 低功耗、密封性好、重量轻:安装DC密封电机实现节能、气密和减重

  • 可抽除水蒸气:通过选配气镇机构(针阀或电磁阀+针阀)可抽除水蒸气

  • 符合国际标准:CE、cTUVus,全球通用

选配件丰富:气镇机构(针阀/电磁阀+针阀)、橡胶脚垫、消音器(RS-01系列/简易型)、隔音罩、电源兼容箱(Ver.A→Ver.B)。

六、工程师选型避坑:CR系列怎么选

选型三步法:

  1. 算抽速:小腔体/实验室 → CR16B(16 m³/h);中型设备 → CR30B(30 m³/h)或CR60B(55 m³/h);大型设备/高要求 → CR300B(300 m³/h,极限压力0.5Pa)

  2. 看电源:现场单相100V → CR16B(可选);单相200V → CR16B或CR30B或CR60B-S;三相200V → CR16B或CR60B-T或CR300B

  3. 确认是否需要抽水蒸气:需要抽水蒸气 → 必须选配气镇机构(针阀或电磁阀+针阀)

*不能做的事:

  • 不选配气镇机构就抽水蒸气——水蒸气在泵内凝结,损坏泵体

  • CR60B-S(单相)接三相电 / CR60B-T(三相)接单相电——烧电机

  • 抽腐蚀性气体或含粉尘气体——CR系列设计用于清洁气体(空气、惰性气体)

  • 极限压力不达标时以为是泵的问题——确认是否关闭了气镇阀再测(极限压力是无气镇气体时的值)

七、供货与服务保障

  • 授权渠道:深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

  • 发货地:深圳仓 / 上海仓 直发

  • 供货周期:CR16B / CR30B / CR60B 常用规格 现货;CR300B 订货 3~4周

  • 配套一站式采购:气镇机构(针阀/电磁阀+针阀)、消音器(RS-01系列/简易型)、橡胶脚垫、隔音罩、电源兼容箱

  • 技术支持:免费提供抽速计算、电源规格确认、气镇机构选配建议、安装指导、故障远程排查

八、落地适配全场景

  • 真空镀膜:溅射设备、蒸发镀膜设备

  • 真空干燥:真空干燥设备抽除水蒸气(需使用气镇)

  • 洁净气体排气:空气、惰性气体等清洁气体抽真空

  • 半导体制造:辅助真空系统

  • 研发实验:实验室真空系统

九、结尾转化

风冷无油干式泵选型怕电源搞错、怕水蒸气排不了?

ULVAC CR16B / 30B / 60B-S / 60B-T / 300B 多级罗茨型干式真空泵,深圳京都玉崎现货/订货直发,配套气镇机构及消音器同步供应,工程师可协助出具《CR系列选型确认表》。

立即私信或留言,发送您的腔体容积 + 目标真空度 + 现场电源(单相/三相 + 电压)+ 是否含水蒸气,我们免费出具选型建议!


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