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首页 >深圳京都玉崎电子有限公司> 技术文章> 日本爱发科ULVAC VSN7501单级旋片式油回转真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC VSN7501单级旋片式油回转真空泵 深圳京都玉崎现货

2026/07/15 09:34:57

大抽速单级油旋片泵怎么选?ULVAC VSN1 / 7501,抽速覆盖150~750m³/h,工业级镀膜/热处理/干燥主力前级

大抽速工业泵选错,基础施工和电费都比泵贵

真空镀膜生产线、大型真空热处理炉、半导体制造设备——这些场景需要的是大抽速单级油旋片泵,抽速150m³/h起步,*750m³/h。很多工程师选型只看抽速,忽略了振动和噪音——大泵振动大,不加基础工程的话二楼三楼根本没法装;噪音高的话车间工人受不了。

更隐蔽的坑:VSN系列分空冷和水冷两种冷却方式,选型时没考虑厂房通风条件,空冷泵装在不通风的密闭空间,夏天直接过热停机。还有,VSN6501和VSN7501的极限压力是8.0 Pa(气镇关),比VSN1501/2401的5.3 Pa略高,含湿工艺开气镇后极限压力更高,工艺能不能满足要提前算清楚。

ULVAC VSN1501 / VSN2401 / VSN6501 / VSN7501 单级旋片式油回转真空泵,强制供油+水冷缸体设计,高吸入压强下也能稳定运转,低振动结构无须大规模基础工程,可直接安装于厂房2楼、3楼。

四款型号核心参数对比

项目VSN1501VSN2401VSN6501VSN7501
设计抽速 (50Hz)150 m³/h (2500 L/min)240 m³/h (4000 L/min)650 m³/h (10833 L/min)750 m³/h (12500 L/min)
设计抽速 (60Hz)180 m³/h (3000 L/min)288 m³/h (4800 L/min)——
极限压力 (气镇关)≤ 5.3 Pa≤ 5.3 Pa≤ 8.0 Pa≤ 8.0 Pa
极限压力 (气镇开)≤ 67 Pa≤ 67 Pa≤ 70 Pa≤ 70 Pa
电机功率5.5 kW (4极)7.5 kW (4极)22 kW22 kW
电源200~240V / 380~460V200~240V / 380~460V220-240V / 380-415V220-240V / 380-415V
使用油ULVOIL R-72ULVOIL R-72ULVOIL R-7ULVOIL R-7
油量8.0 ~ 10.5 L8.0 ~ 10.5 L——
冷却水流量4 L/min5 L/min——
吸气口径VG80VG80DN100 ISO-KDN100 ISO-K
排气口径VG50VG50——
重量231 kg267 kg——

注:极限压力为皮拉尼真空计测定值。VSN6501/VSN7501详细油量、重量等参数请咨询。VSN6501和VSN7501可选空冷或水冷。

一、VSN1501:中型工业级前级,镀膜/炉子/干燥主力

VSN1501 抽速 150 m³/h(50Hz)/ 180 m³/h(60Hz),极限压力 ≤ 5.3 Pa(气镇关)。适合中等规模真空设备的主力前级——中小型镀膜机、真空热处理炉、冷冻干燥机。

  • 电机功率 5.5 kW(4极),能耗适中

  • 重量 231 kg

  • 油量 8.0 ~ 10.5 L 可变,延长补油周期

  • 冷却水流量 4 L/min,冷却水压 ≤ 0.3 MPa

  • 吸气口径 VG80,排气口径 VG50

  • 噪音低于 74 dB(A)(到达极限压力时,带油雾过滤器,距泵1米处测定值)

适合谁:中小型镀膜机、真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉、冷冻干燥机、检漏装置。

二、VSN2401:中大型工业级前级,高抽速主力

VSN2401 抽速 240 m³/h(50Hz)/ 288 m³/h(60Hz),极限压力 ≤ 5.3 Pa(气镇关)。抽速比VSN1501提升60%,适合更大腔体、更高抽速需求的场景——大型镀膜机、大型真空炉。

  • 电机功率 7.5 kW(4极)

  • 重量 267 kg

  • 油量 8.0 ~ 10.5 L 可变

  • 冷却水流量 5 L/min

  • 吸气口径 VG80,排气口径 VG50

  • 噪音低于 74 dB(A)(到达极限压力时,带油雾过滤器,距泵1米处测定值)

适合谁:大型镀膜机、溅射设备、离子镀设备、大型真空热处理炉、真空干燥设备。

三、VSN6501:大抽速工业泵,650m³/h镀膜/半导体产线主力

VSN6501 抽速 650 m³/h(50Hz)/ 10833 L/min,极限压力 ≤ 8.0 Pa(气镇关)/ ≤ 70 Pa(气镇开)。适合大型真空镀膜生产线、半导体制造设备等大抽速场景。

  • 电机功率 22 kW

  • 电源:220-240V / 380-415V

  • 3叶片型构造,大幅降低低频振动

  • 内置式油雾过滤器,无需外置装置,结构紧凑

  • *排水气能力,可直接搭载罗茨泵使用

  • 冷却方式:空冷或水冷可选——非开放式厂房环境选用水冷可有效节能

适合谁:大型真空镀膜生产线、溅射/离子镀设备、半导体制造设备、大型真空热处理炉、烧结炉。

四、VSN7501:*号工业泵,750m³/h大抽速

VSN7501 抽速 750 m³/h(50Hz)/ 12500 L/min,极限压力 ≤ 8.0 Pa(气镇关)/ ≤ 70 Pa(气镇开)。VSN系列*号,适合大腔体、高抽速的工业场景。

  • 电机功率 22 kW

  • 电源:220-240V / 380-415V

  • 3叶片型构造,低振动设计

  • 内置式油雾过滤器,结构紧凑

  • 冷却方式:空冷或水冷可选

适合谁:大型真空镀膜生产线、大型半导体制造设备、大型真空热处理炉、真空烧结炉、大型检漏系统。

五、VSN系列共同优势:低振动 + 低噪音 + 全压强连续运行

VSN系列是ULVAC单级旋片式油回转真空泵,通过简化构造实现小型化、轻量化。四大核心优势:

  • 低振动:采用3叶片型构造,能达到高速化(50Hz、1500r/min),大幅降低低频振动,无须大规模基础工程,可安装于厂房2楼、3楼

  • 低噪音:到达极限压力时噪音低于 74 dB(A)(VSN1501/2401,带油雾过滤器,距泵1米处测定值)

  • 全压强连续运行:采用强制供油方式和缸体水冷方式,高吸气压强下也能稳定运转。选用油雾过滤器、油回收装置及耐热密封件后,可在大气压以下全压强范围连续运转

  • 维护便捷:油量确认、补油、换油在同一操作方向,8~10.5L可变油量延长补油周期

六、工程师选型避坑:VSN系列怎么选

选型三步法:

  1. 算抽速:腔体容积大、抽速要求高 → VSN6501/7501;中型设备 → VSN2401;中小型设备 → VSN1501

  2. 看冷却方式:VSN6501/7501可选空冷或水冷——厂房通风良好选空冷,密闭空间或高温环境必须选水冷

  3. 看极限压力是否满足工艺:VSN1501/2401气镇关 ≤5.3 Pa,VSN6501/7501气镇关 ≤8.0 Pa。含湿工艺开气镇后极限压力上升至67~70 Pa,确认是否满足工艺要求

*不能做的事:

  • 抽强腐蚀性气体、大量颗粒物(必须加装前置过滤器)

  • 用错油品——VSN1501/2401使用 ULVOIL R-72,VSN6501/7501使用 ULVOIL R-7

  • 大抽速泵不装油雾过滤器——VSN系列可配油雾过滤器、油回收装置,强烈建议选配

  • 含湿工艺不开气镇阀——机油乳化报废

  • VSN6501/7501在密闭空间选空冷——夏天过热停机

七、供货与服务保障

  • 授权渠道:深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

  • 发货地:深圳仓 / 上海仓 直发

  • 供货周期:VSN1501 / 2401 常用规格 现货或1~2周;VSN6501 / 7501 订货 3~4周

  • 配套一站式采购:ULVOIL R-72 / R-7真空泵油、油雾过滤器、油回收装置、KF/ISO-K法兰管路、冷却水系统配件

  • 技术支持:免费提供抽速计算、冷却方式选型建议、安装指导、基础工程评估、故障远程排查

八、落地适配全场景

  • 真空镀膜:蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀设备

  • 真空热处理:真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉

  • 真空干燥:真空干燥、冷冻干燥、真空脱气

  • 半导体制造:照明器件、电子器件、光学器件制造

  • 检漏系统:自动检漏装置、真空成形、真空铸造

  • 气体处理:气体置换、充填、真空隔热

  • 真空搬运:真空包装、真空吸附、搬送

大抽速工业油旋片泵选型怕振动大、怕冷却选错、怕现货等不及?

ULVAC VSN1501 / VSN2401 / VSN6501 / VSN7501

深圳京都玉崎现货/订货直发,配套真空泵油及油雾过滤器同步供应,工程师可协助现场/远程指导安装与基础工程评估。

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