玉崎爱发科ULVAC现货GLD-N202

油旋片高真空前级怎么选？ULVAC GLD-N051 / N202 / N280，抽速覆盖60~336L/min，镀膜/炉子/分析仪器黄金搭档

开篇：前级泵选不对，主泵性能全白费

做真空镀膜、真空热处理、冷冻干燥、分析仪器——油旋片泵是整套高真空系统的“守门员”。抽速不够，主泵（分子泵/扩散泵/罗茨泵）无法正常启动；极限压力不够，腔体真空度死活下不去。

更隐蔽的坑：很多工程师只看抽速，忽略了气镇阀的重要性。南方梅雨季或含湿工艺，水蒸气在泵内凝结导致机油乳化，一个月换三回油，设备频频宕机。还有些泵没有防返油机构，停机时油倒灌进真空管路，污染腔体和工件。

ULVAC GLD-N051 / GLD-N202 / GLD-N280 爱发科经典油旋片泵，双级排气系统，极限压力 6.7×10⁻¹ Pa，抽速覆盖 60~336 L/min（50Hz） ，全系标配气镇阀和防返油机构，是罗茨泵、分子泵、扩散泵的标准前级配置。

三款型号核心参数对比

注：极限压力为皮拉尼真空计测量值。

一、GLD-N051：小型高真空前级，分析仪器/实验室标配

GLD-N051 是GLD系列*小号，抽速 60 L/min（50Hz）/ 70 L/min（60Hz）。适合小腔体、低抽速需求的场景——质谱仪、检漏仪、电子显微镜的前级泵，或者小型真空实验系统。

• 电机功率仅 0.2 kW，能耗极低

• 重量 14.5 kg，单手可搬动，适合实验室台面安装

• 油量 0.5~0.8 L，维护成本低

• 排气管径 G3/4，比大号型号更小巧

• 标配气镇阀，处理水蒸气时开启可防止机油乳化

• 防返油机构，停机时油不会倒灌进真空腔体

适合谁：质谱仪、检漏仪、电子显微镜、小型真空实验系统、冷冻干燥机。

二、GLD-N202：中型前级主力，镀膜/炉子/罗茨机组黄金搭档

GLD-N202 是GLD系列**的中间型号，抽速 240 L/min（50Hz）/ 290 L/min（60Hz）。抽速适中，既能满足中小型真空炉、镀膜机的前级需求，也适合作为罗茨泵机组的前级泵。

• 电机功率 0.55 kW（4P）

• 重量 29 kg

• 油量 1.1 L

• 电源：三相 200-240V / 380-460V 宽电压

• 获 TUV，符合国际安全标准

• 尺寸：170(W)×513.5(L)×240(H) mm

适合谁：光学镀膜机、溅射设备、真空钎焊炉、真空淬火炉、罗茨泵前级、冷冻干燥机。

三、GLD-N280：大抽速前级，大型真空设备主力

GLD-N280 是GLD系列*号，抽速 336 L/min（50Hz）/ 400 L/min（60Hz）。适合大腔体、高抽速需求——大型真空镀膜机、大型真空炉、半导体制造设备的前级泵。

• 电机功率 0.75 kW（4P）

• 重量 34.5 kg

• 油量 0.75~1.5 L

• 使用油：R-72（与N051/N202不同）

• 电源：三相 200-240V / 380-460V 宽电压

• 获 TUV

• 尺寸：181(W)×536(L)×269(H) mm

适合谁：大型光学镀膜机、大型真空热处理炉、半导体制造设备、大型罗茨泵机组前级。

四、GLD系列共同优势：双级排气 + 标配气镇阀 + 防返油

GLD系列采用双级排气系统，相比单级泵可以获得更低的极限压力。全系标配三大核心功能：

• 气镇阀 (Gas Ballast)：处理水蒸气时开启，防止机油乳化

• 防返油机构：停电或停机时防止油回流到真空腔体

• 大型油位观察窗：便于确认油位和油污染状况

强制供油机构保证排气速度稳定，大气压下可连续运行。宽电压电机符合国际标准。

低振动、低噪音设计，无需打地脚螺栓，直接放置于平整地面或机架内即可稳定工作。

维护方面：油窗+放油口布局合理，首次500小时换油，之后每3000小时更换一次（视工况）。维护套件（油品、油过滤器、排气阀片）标准通用，备件易得。

五、工程师选型避坑：GLD-N051 / N202 / N280 怎么选

• 算抽速：前级泵抽速 ≥ 主泵抽速 × 20%（扩散泵），或按ULVAC手册配比。小腔体选N051，中型设备选N202，大型设备选N280

• 看电源：N051为单相200/380V；N202和N280为三相200-240V / 380-460V。现场供电决定选型

• 看安装空间：N051体积*小、重量*轻（14.5 kg）；N280体积*（181×536×269 mm）

• 含湿工艺必须开气镇阀：GLD全系标配气镇阀，南方高湿度环境或含湿工艺必须开启运行

• 绝不能抽：强腐蚀性气体、大量颗粒物（必须加装过滤器）

六、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：GLD-N051 / N202 / N280 常用规格 现货；特殊电压定制 2~3 周

• 配套一站式采购：KF卡箍、中心支架、波纹管、真空电磁阀、ULVAC真空泵油（R-4 / SMR-100 / R-72）

• 技术支持：免费提供抽速计算、前级管路口径选型、安装指导、故障远程排查

七、落地适配全场景

• 真空镀膜：光学镀膜机、溅射设备、蒸发镀膜机前级预抽

• 真空热处理：真空钎焊炉、真空淬火炉、真空烧结炉前级

• 分析仪器：质谱仪（LC-MS/GC-MS）、ICP-MS、检漏仪、电子显微镜前级

• 冷冻干燥：医药/食品冻干机冷阱抽空

• 半导体制造：溅射、蒸发、照明器件制造设备

• 研发实验：物理化学实验、激光相关设施

八、结尾转化

真空泵选型怕配错、怕现货等不及？

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