进口原厂TOFCO东富科DPF-M15 差压式流量计

        TOFCO东富科流量计专为洁净腐蚀性液体设计，接液多采用 PFA 材质，禁油无析出。涵盖USF超声波、CR科里奥利质量、FM-PF浮子、VK-T涡街及叶轮流量计，搭配FLC流量控制器。产品无活动件或低磨损结构，抗气泡性能强，广泛用于半导体湿法清洗、面板、纯水与精细化工，实现药液流量监测与闭环调控。

        依托多种流体测量原理，针对洁净腐蚀性液体实现流量检测与闭环控制。USF系列超声波流量计采用传播时间差法，通过探头发射与接收超声波信号，根据流体流动造成的声波传播时差计算流速，无接触式测量，无内部活动部件，可耐受气泡干扰，适配高纯药液。CR科里奥利质量流量计利用科里奥利效应，直接测量流体质量流量，不受温度、密度影响，微量计量精度稳定。FM-PF浮子流量计依靠浮子重力与流体浮力平衡，直观显示流量。FLC流量控制器结合流量计信号反馈与比例调节阀，形成闭环回路，实时比对设定流量与实测值，自动调节阀门开度，稳定管路流量。

TOFPINE 集成模组则将各类仪表、阀件管路一体化预制，实现流体系统集成，满足半导体湿法工艺的洁净流体测控需求。

       在半导体行业，是其核心应用场景，流量计、流量控制器与流体模组多用于晶圆湿法清洗工序，对纯水、酸碱高纯药液实时检测并调节流量。PFA 接液材质无析出污染，产品抗气泡性能优异，保障晶圆制造良率，同时用于设备冷却水路、臭氧水处理与脱氧循环。

       显示面板制造行业，产品服务于湿法蚀刻、清洗工艺，稳定高纯化学品与纯水供给流量，控制蚀刻效果，减少生产批次差异。生物医药行业用于纯化水输送、洁净配液，满足制药洁净标准，实现药剂定量配料。精细化工场景可完成强酸强碱试剂微量计量与在线配比，保证化学反应稳定。

       此外，产品还用于纯水制备输送、精密设备温控冷却回路。TOFPINE 模块化流体单元，将阀件、仪表、管路预制集成，简化设备管路设计，缩短装配周期，也可配套臭氧分解、水体脱氧等环保水处理项目。