日本全新FLUORO福乐M100-200 杠杆锁手动镊子

日本原装FLUORO福乐 手动晶圆镊子

    FLUORO 福乐杠杆锁手动镊子，是面向半导体无尘室开发的机械式晶圆夹持工具，依靠杠杆锁止机构实现恒定夹持，无需真空泵、气源配套，专为硅片、碳化硅、化合物基板的干法转运设计，适配实验室与产线应急取片作业。

    产品采用两点外缘夹持结构，卡爪仅接触晶圆侧边，不触碰晶圆正面图形区域；夹持端头经过光学抛光处理，低发尘，减少划伤、颗粒污染、崩边风险，内置限位挡块，规避晶圆滑移脱落问题。依托杠杆棘轮锁止设计，夹紧完成后即可锁定夹持力，操作人员无需持续用力按压，长距离搬运可缓解手部疲劳，夹持力度不受人手操作差异影响，作业一致性高。

    整机分为两大材质系列：M100‑L 为本色 PEEK 洁净款，E100‑L 为导电 PEEK 防静电款，满足 ESD 管控车间需求；连续耐温可达 130℃，无金属、无胶水析出，适配百级无尘环境使用；产品自重轻便，单支重量 71‑77g，握持操作简单上手快。
    完整型号矩阵覆盖主流晶圆规格：M100‑100L（4 寸）、M100‑150L（6 寸）、M100‑200L（8 寸）、M100‑300L（12 寸）；防静电版本 E100‑100L、E100‑150L、E100‑200L、E100‑300L，可按需选型。

手动镊子所用材料列表
材料    材料特征
带碳纳米管的PEEK     通过将纳米碳掺入PEEK树脂，具有优异的导电性、耐化学性、耐热性和机械强度。
但它溶解在浓硫酸中。
聚醚酮在耐化学性、耐热性和机械强度方面表现*。
但它溶解在浓硫酸中。
PPS 福特隆
与PEEK不同，它不溶于浓硫酸中。
其化学抗性、耐热性和机械强度均不及PEEK。