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日本进口SIGMAKOK西格玛NTSD-251薄手动位移滑台
主力产品线、代表型号与产品核心用途
(一)精密光学元件(核心光学器件)
激光反射镜系列
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TFMHP 系列高功率电介质反射镜:代表型号 TFMHP-25.4C05-193(193nm 准分子激光)、TFMS-25.4C05(可见光宽带反射镜)
用途:高功率光纤激光、准分子激光光路转折,多层介质膜实现>95% 高反射率,抗激光损伤阈值高,避免镜面烧蚀;193nm 型号适配 ArF 光刻光路反射。
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TFG/TFGS 金膜红外反射镜:适配 1–10μm 红外光路,红外光谱仪、CO₂激光光路转折。
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OPSQ/OFB 光学基板:光滑基材(Ra<0.2nm),用于定制反射镜、分光镜基底,低杂散光,适配精密干涉系统。
显微激光物镜系列
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PAL 系列(PAL-NIR/PAL-NUV):PAL-20-NIR-HR-LC00 近红外物镜、PAL-20-NUV 紫外物镜
用途:红外 / 紫外激光聚焦,带盖板玻璃像差补偿,晶圆微孔加工、芯片缺陷激光修复、近红外显微成像。
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HPOBL 高功率激光物镜:45mm 齐焦距离,高耐热镜片,光纤激光切割、金属打标聚焦。
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PFL-UV-AG 紫外消色差物镜:深紫外波段校正色差,PCB 紫外钻孔、玻璃激光刻蚀。
偏振与分光元件
SPF 系列薄膜偏振片(SPF-30C-32 可见光款、NSPFU 紫外偏振片),用于光路光强调节、偏振干涉实验、激光偏振整形。
(二)精密位移平台(手动 + 电动,光机调整核心)
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HPS-X 滚珠丝杠电动平台:HPS60-20X-M5、HPS80-50X-M5,步进电机驱动,承载 5–10kg,自动化光路扫描、晶圆 XY 平台定位。
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GSC 升降台(GSC-02ABN):Z 轴垂直精密升降,显微镜对焦、激光聚焦高度动态调节。
(三)光学支架、底座与隔振平台
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标准镜架、万向调整镜座:用于透镜、反射镜三轴姿态微调,光路搭建模块化固定;
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OSDVID 隔振工作台:气浮 / 刚性隔振台,隔绝地面震动,保障干涉仪、共聚焦显微镜光路稳定。

