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首页 >池田屋贸易(深圳)有限公司> 技术文章> 日本全新MIYUKI美幸辉 SE-N16 气动直通真空闸
日本全新MIYUKI美幸辉 SE-N16 气动直通真空闸
2026/07/28 18:00:55
日本MIYUKI美幸辉 气动直通真空闸
日本MIYUKI美幸辉 气动直通真空闸
SE-N16 属于 SE 系列气动直通真空阀,适配 NW16(KF16)快拆法兰,采用单作用弹簧常闭驱动结构,通气开启、断气自动闭合。阀体采用轻量化 A5056 铝合金一体加工,直通式直线流道设计,流体通过阻力较小;整体为圆柱一体化结构,无向外凸起的执行部件,轴向尺寸紧凑,适合狭小设备内部管路布置。原厂在洁净环境完成装配调试,密封性能稳定,支持选配阀位感应开关,向外传输阀门开闭信号,便于对接自动化控制系统,广泛适配多个制造行业小型真空支路通断工况。
半导体行业多用于真空计采样支管、工艺腔体小型旁路、分子泵前端微管路隔离。气源中断时阀门自动关闭,阻挡大气倒灌进入真空腔体,降低真空规、薄膜样品氧化受损风险;小巧体积便于集成在真空设备腔体侧面,适配晶圆检测平台、小型等离子清洗设备配套管路。
光学镀膜行业适配小型蒸发源旁通管路、样品预处理真空腔体支路控制,在设备维护流程中隔离局部管路,缩短腔体重复抽真空时长。对比 L 型角阀,直通布局沿管路轴向安装,不占用横向空间,适合多阀密集并排布置。
锂电与真空检测行业,用于氦检设备采样管路、小型真空烘烤设备支管通断,稳定密封保障系统基础真空水平。科研高校实验室大量选用该型号搭建管式炉、真空测试平台,作为样品充气、真空监测支路控制阀门。第三方真空工艺研发平台也常使用该阀搭建小型实验管路。
阀座采用均衡压紧密封结构,标配 FKM 氟橡胶密封圈,可根据工艺气体工况调整密封材质;阀门启闭循环寿命充足,长期重复运行工况下密封维持稳定。KF 快拆法兰搭配卡箍安装,拆装便捷,方便现场维护。
相较于大口径真空阀门,SE-N16 体积轻便,适合分支管路控制,不承担主抽气大流量通路;同系列拥有 NW25/NW40/NW50 多种口径规格,可按照管路尺寸灵活选型。作为进口小型直通真空切断部件,SE-N16 结构精简、安装灵活,是镀膜设备、真空检测仪器、实验室真空系统微小支路通断常用真空阀门方案。
日本MIYUKI美幸辉 气动直通真空闸
SE-N16 属于 SE 系列气动直通真空阀,适配 NW16(KF16)快拆法兰,采用单作用弹簧常闭驱动结构,通气开启、断气自动闭合。阀体采用轻量化 A5056 铝合金一体加工,直通式直线流道设计,流体通过阻力较小;整体为圆柱一体化结构,无向外凸起的执行部件,轴向尺寸紧凑,适合狭小设备内部管路布置。原厂在洁净环境完成装配调试,密封性能稳定,支持选配阀位感应开关,向外传输阀门开闭信号,便于对接自动化控制系统,广泛适配多个制造行业小型真空支路通断工况。
半导体行业多用于真空计采样支管、工艺腔体小型旁路、分子泵前端微管路隔离。气源中断时阀门自动关闭,阻挡大气倒灌进入真空腔体,降低真空规、薄膜样品氧化受损风险;小巧体积便于集成在真空设备腔体侧面,适配晶圆检测平台、小型等离子清洗设备配套管路。
光学镀膜行业适配小型蒸发源旁通管路、样品预处理真空腔体支路控制,在设备维护流程中隔离局部管路,缩短腔体重复抽真空时长。对比 L 型角阀,直通布局沿管路轴向安装,不占用横向空间,适合多阀密集并排布置。
锂电与真空检测行业,用于氦检设备采样管路、小型真空烘烤设备支管通断,稳定密封保障系统基础真空水平。科研高校实验室大量选用该型号搭建管式炉、真空测试平台,作为样品充气、真空监测支路控制阀门。第三方真空工艺研发平台也常使用该阀搭建小型实验管路。
阀座采用均衡压紧密封结构,标配 FKM 氟橡胶密封圈,可根据工艺气体工况调整密封材质;阀门启闭循环寿命充足,长期重复运行工况下密封维持稳定。KF 快拆法兰搭配卡箍安装,拆装便捷,方便现场维护。
相较于大口径真空阀门,SE-N16 体积轻便,适合分支管路控制,不承担主抽气大流量通路;同系列拥有 NW25/NW40/NW50 多种口径规格,可按照管路尺寸灵活选型。作为进口小型直通真空切断部件,SE-N16 结构精简、安装灵活,是镀膜设备、真空检测仪器、实验室真空系统微小支路通断常用真空阀门方案。

