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到货MIYUKI美幸辉GR-C100 大口径高真空闸

2026/07/28 17:49:39

GR-C100 是日本美幸辉 (MIYUKI) 公司 GR 系列中的一款 DN100 气动高真空闸阀。它采用气动驱动，专为要求高真空密封性与洁净度的自动化应用而设计。

核心技术规格

参数项目	规格指标
与系列	日本美幸辉 (MIYUKI)，GR 系列
型号	GR-C100
公称通径	DN100 (100mm)
驱动方式	气动（压缩空气）
法兰连接	兼容 JIS、ISO、CF、KF 等标准
压力范围	大气压 ~ 1×10⁻⁶ Pa (高真空)
泄漏率 (阀座)	≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
泄漏率 (阀体)	≤ 1×10⁻¹¹ Pa·m³/s
阀体材质	不锈钢 SUS304（真空钎焊）
密封件材质	标配氟橡胶 (FKM)，可选 Kalrez 全氟醚
耐温范围	-30℃ ~ 150℃（适配腔体烘烤除气）
安装方向	任意角度
开度指示	带微动开关，用于检测全开和全关位置

核心特点

紧凑化设计：执行器的放置位置经过优化，旨在缩短阀门的外部轮廓尺寸，使其能更好地适配空间有限的真空系统。
优异的抗反压密封性能：阀体密封机构采用均匀分布的压球方式，在反向压力下也能保持高可靠性，确保真空系统的稳定。
低释气、高洁净：不锈钢外壳采用真空钎焊工艺，消除了内表面的死角，有效减少了气体释放（脱气）。产品在无尘室中完成组装和检查。
可靠的驱动与缓冲：气缸设计巧妙，关闭时推力加倍以确保密封牢固，同时在行程末端形成气垫效果以起到减震作用。
安装灵活：支持任意角度安装，可适应多样化的紧凑管路布局。

应用场景

半导体制造：刻蚀、沉积（PVD/CVD）等工艺设备的真空管路自动控制。
光学镀膜：真空镀膜设备的气动阀门。
科研与航天：高真空实验装置的自动化操作。

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