全新MIYUKI美幸辉薄型气动真空阀L-I63

2026/07/25 16:43:56

日本全新MIYUKI美幸辉薄型气动真空阀L-I63

型号释义

L-I63

同系列区分：L-J 为 JIS 日标法兰、L-N 为 KF 快装法兰，L-I63 适配 ISO-F63 国际标准法兰，多用于自动化镀膜、半导体、锂电中大型真空设备。

L-I63 气动真空闸阀，采用薄紧凑阀体结构，有效节省设备轴向安装空间。阀门启闭过程仅密封面相互接触，减少颗粒物产生，适配洁净真空制程；阀座采用均衡球压密封结构，正向、反向压差工况均可维持可靠密封，适用压力区间覆盖常压至 1×10⁻⁵Pa，广泛用于各类真空腔体、工艺管路通断隔离。

光学镀膜、溅射蒸镀设备真空管路隔断；半导体等离子清洗、电子元器件封装真空腔体；锂电材料浆料干燥、脱泡真空设备；真空热处理炉、中试反应真空系统；科研高校实验真空平台管路隔离。