日本MIYUKI美幸辉成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-C63 +MS-PC

2026/06/04 09:46:39

日本 MIYUKI 美幸辉 BAZ-C63+MS-PC 数字定点成套电动真空蝶阀（CF63 刀口法兰 DN63 高真空）

主流应用场景（CF63 高真空）

磁控溅射、电子束蒸镀、光学镀膜高真空腔体：阶梯缓破空，避免薄膜氧化、针孔不良；

表面分析设备 XPS/AES、科研实验室高真空试验舱：微量工艺进气、腔体精密稳压控压；

半导体 PVD、离子注入设备、小型高真空钎焊炉：特种气体分段配比、梯度升压；

精密氦检工装、无油高真空负压中试设备：标准化分段泄压工艺。

同口径选型对照表

成套型号	控制形式	配套电控	适用工况
BAZ-C63+MS-PC	00~99 数字档位定点	MS-PC	CF 刀口法兰、高真空、固定分段进气量产工艺
BAR-C63+MS-VP	0~10V 模拟无级连续调压	MS-VP	CF 法兰高真空、闭环动态实时稳压控制

开启规范控制器MS-PC通过定位打开规格控制器从完全闭合到完全开启至100度的击穿，支持高层系统的输入输出操作，并在停电时通过电磁制动保持位置

概述

■ 这是一个开启控制系统，将MS-PC控制器与蝶阀BAZ系列或门阀GAZ系列结合在一起。

■ 气门开口均匀分布为100个部件，贯穿传动轴的工作范围内。

■ 可以通过面板开关手动操作，更高级别系统也可以实现自动操作。

■ 该阀门既可用于可变导导，也可用于全闭合排气管。

地理位置

※1：在执行高级自动驾驶时所必需。请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。

※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。