日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-N40+MS-PC

同口径选型区分

应用场景

小型实验镀膜机、试验室真空腔体：KF 快装便于设备拆装调试、梯度破真空；

小型锂电试样脱泡设备、微型注液腔体：*分段泄压；

小型 PVD / 等离子试验设备、检漏仪配套进气阀：精密稳压控气。

结构特点

步进伺服直驱结构，无减速齿轮间隙，微小开度进气线性平稳，设定档位阀位无漂移；

KF40 快装卡箍式，拆装便捷，无需法兰螺栓，适配试验室、小型腔体频繁拆装工况；

低发尘洁净内部结构，无外露摩擦部件，可在无尘车间使用；断电电磁抱闸锁阀位，避免突发泄压。

BAZ-N40 阀体技术参数

真空与密封

• 适用真空：常压～1×10−5Pa，中高真空进气、分段破真空、腔体稳压；

• 泄漏性能：阀体内漏≤1×10−9Pa⋅m3/s，阀杆外漏≤1×10−10Pa⋅m3/s，满足镀膜、半导体高真空检漏；

• 物料规格：阀体、蝶板 SUS304 不锈钢，阀座 & 轴封 FKM 氟橡胶，使用温度 - 20℃~150℃，适配氮气、氩气等干燥工艺气体。

※1：在执行高级自动驾驶时所必需。 请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。

※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。