日本MIYUKI美幸辉成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-I80+MS-PC

2026/06/04 09:04:53

同口径选型对比

成套型号	控制方式	配套控制器	适用工况
BAZ-I80+MS-PC	00~99 数字定点档位	MS-PC	固定分段进气、重复性量产工艺（镀膜 / 锂电标配）
BAR-I80+MS-VP	0~10V 模拟连续无极调压	MS-VP	动态闭环稳压、实时连续微调腔体压力

光学镀膜 / 真空蒸镀机：阶梯缓破真空，防止膜层起皮、针孔不良；

锂电设备：电芯真空注液、脱泡梯度泄压，避免电解液飞溅；

半导体 PVD/CVD、等离子刻蚀腔体：工艺载气*配比、腔体精密稳压；

科研真空炉、氦气检漏设备：分段升压、定点控压调试。

伺服直驱无齿轮间隙，无回程空程，小开度气流线性稳定，设定档位后阀位自锁不漂移；

内置原点记忆传感器，100 档机械锁止，量产工艺开度重复一致性极高；

阀内无外露摩擦零件、低发尘，符合无尘车间洁净规范，阀体任意角度均可安装；

断电电磁抱闸锁止当前阀位，杜绝腔体突发泄压，保护腔内工件。

开启规范控制器MS-PC通过定位打开规格控制器从完全闭合到完全开启至100度的击穿，支持高层系统的输入输出操作，并在停电时通过电磁制动保持位置

概述

■ 这是一个开启控制系统，将MS-PC控制器与蝶阀BAZ系列或门阀GAZ系列结合在一起。

■ 气门开口均匀分布为100个部件，贯穿传动轴的工作范围内。

■ 可以通过面板开关手动操作，更高级别系统也可以实现自动操作。

■ 该阀门既可用于可变导导，也可用于全闭合排气管。

地理位置

※1：在执行高级自动驾驶时所必需。请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。

※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。