现货VAT高压控制与隔离阀组合单元

61.3 HV蝶式控制阀提供了压力控制性能。凭借其快速且的动作控制器（0.1秒），它是CVD和ALD工艺中精细控制解决方案。该板起节流元件的作用，改变阀门开启的导电率。61.3的集成压力控制器计算出所需的板材位置，以尽快达到设定压力。

它特别设计用于气流中颗粒的严苛下游过程。尽管设计上存在高颗粒载荷和碎片堆积，61.3号机仍保持全功能运行。

61.3系列已在数千个高要求的应用中安装，且在各种工艺条件下取得了可靠性。凭借坚固的设计和直接安装选项，以及更简便且易于维护，61.3系列在各方面都令人信服。

车体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定PI下游/软泵）等多种设计选项简化了在各种真空应用中的集成。