深圳京都玉崎推出FLUORO 福乐真空吸笔F003-X-03-PK

2026/07/09 19:40:52

FLUORO 福乐 X 系列球状旋转接头防酸真空吸笔，专为半导体 6 寸硅晶圆湿法腐蚀、酸碱药液清洗、蚀刻浸泡等强化学工况设计，全铁氟龙笔身搭配可 360° 自由转动的球状旋转接头，搭配三类差异化材质吸笔头，兼顾耐化学腐蚀、多角度灵活操作与无尘防静电需求，是 6 寸晶圆复杂狭小腔体取料作业的拾取工具。

笔身整体采用铁氟龙材质一体成型，该材料化学惰性突出，可长期抵御各类强酸、强碱、有机蚀刻溶剂侵蚀，长时间浸泡化学药液不会出现溶胀、开裂、离子析出等问题，可避免杂质附着污染晶圆表面，完全适配百级化学无尘车间洁净管控标准。产品搭载球状旋转活动接头，支持全方位角度调节，适配反应槽、小型密闭设备内腔、多层载具间隙等直式接头难以伸入操作的复杂工位，无需挪动设备或晶圆即可完成多角度拾取、翻面，大幅提升湿法工序操作灵活性与作业效率。

产品线提供三种吸笔头材质按需选配，适配不同制程工艺标准。PCTFE 吸头耐化学性能均衡，采购成本适中，多用于常规酸碱粗清洗工序；PEEK 吸头兼具防静电、耐高温、低离子析出特性，适配光刻前高精度晶圆转运环节；Vespel (R) 高性能吸头耐磨、热稳定性能优异，可支撑产线高频次不间断连续取片，适配高端芯片量产车间。阀门分为 NC 常闭、NO 常开、NO+SW 带手动开关常开三种，F001-X、F002-X、F003-X 三款笔身分别对应不同阀门控制逻辑，可匹配市面绝大多数真空发生器供气回路，适配不同产线真空控制方案。

产品采用分体式模块化结构，笔身与吸笔头支持分开独立订购，无需成套采购整支吸笔，吸头磨损损耗后可单独替换，能够有效降低企业长期耗材采购成本；同型号笔身通用 03 系列全部规格吸头，配件互换性强，简化工厂库存备货管理压力。

本系列 FLUORO 福乐防酸真空吸笔由京都玉崎自有仓储现货储备，不属于代理分销货源，全规格型号常备库存，可快速承接半导体湿法产线批量采购订单。我们可结合客户药液成分、工位空间尺寸、真空设备参数提供专属选型方案，支持寄送样品在酸碱产线现场实测耐腐蚀性能。产品无任何外露金属构件，***金属腐蚀、金属离子污染晶圆的隐患，长期使用吸力稳定，可***降低湿法工序晶圆划伤、腐蚀报废等不良问题，提升半导体车间整体生产良率。

产品型号	阀门种类	吸笔头材质	配套笔身型号	配套吸笔头型号
F001-X-03-3F	NC（常闭）	PCTFE	F001-X（附带 106 配件）	03-3F
F001-X-03-PK	NC（常闭）	PEEK	F001-X（附带 106 配件）	03-PK
F001-X-03-VP	NC（常闭）	Vespel(R)	F001-X（附带 106 配件）	03-VP
F002-X-03-3F	NO（常开）	PCTFE	F002-X（附带 106 配件）	03-3F
F002-X-03-PK	NO（常开）	PEEK	F002-X（附带 106 配件）	03-PK
F002-X-03-VP	NO（常开）	Vespel(R)	F002-X（附带 106 配件）	03-VP
F003-X-03-3F	NO+SW（带开关常开）	PCTFE	F003-X（附带 106 配件）	03-3F
F003-X-03-PK	NO+SW（带开关常开）	PEEK	F003-X（附带 106 配件）	03-PK
F003-X-03-VP	NO+SW（带开关常开）	Vespel(R)	F003-X（附带 106 配件）	03-VP

深圳京都玉崎推出FLUORO 福...