深圳京都玉崎推出FLUORO 福乐真空吸笔F001-Z-03-VP

2026/07/09 19:24:57

FLUORO 福乐 Z 系列直式固定接头防酸真空吸笔，专门适配半导体 6 寸硅晶圆湿法蚀刻、酸碱药液浸泡、化学清洗等强腐蚀制程，全铁氟龙笔身搭配刚性直式无活动接头，搭配三类差异化材质吸笔头，兼顾耐化学腐蚀、定点作业稳定性与无尘防静电性能，是固定工位批量转运 6 寸晶圆的拾取工具。

笔身整体采用铁氟龙一体成型，该材料化学惰性极强，可长期耐受强酸、强碱、各类有机蚀刻溶剂侵蚀，长期接触化学药液不会出现溶胀、开裂、离子析出等问题，从源头避免杂质附着污染晶圆表面，完全满足百级化学无尘车间的洁净管控标准。产品采用直式固定接头结构，摒弃球状旋转活动转轴，整体结构紧实刚性更强，流水线长时间连续作业不会松动偏移，吸附承载稳定性突出，适配药液槽定点取料、设备侧边固定工位等无需多角度翻转晶片的作业场景，握持操作简单省力，有效降低人工长时间操作的疲劳感。

产品线提供三种吸笔头材质，可根据产线工艺需求灵活选配。PCTFE 吸头耐化学性能均衡，采购成本适中，适配常规酸碱粗清洗工序；PEEK 吸头兼具防静电、耐高温、低离子析出优势，适合光刻前高精度晶圆转运环节；Vespel (R) 高性能吸头耐磨、热稳定表现优异，能够支撑产线高频次不间断连续取片，适配高端芯片量产车间。阀门分为 NC 常闭、NO 常开、NO+SW 带手动开关常开三类，F001-Z、F002-Z、F003-Z 三款笔身分别对应不同阀门控制逻辑，可匹配市面绝大多数真空发生器供气回路，适配各类产线真空控制方案。

产品采用分体模块化设计，笔身与吸笔头支持分开独立订购，无需成套采购整支吸笔，吸头磨损损耗后可单独替换，有效降低企业长期耗材采购成本；同型号笔身通用 03 系列全部规格吸头，配件互换性强，简化工厂库存备货管理压力。

本系列 FLUORO 福乐防酸真空吸笔由京都玉崎自有仓储现货储备，不属于代理分销货源，全规格型号常备库存，可快速承接半导体湿法产线批量采购订单。我们可结合客户药液成分、工位布局、真空设备参数提供专属选型方案，支持寄送样品在酸碱产线现场实测耐腐蚀性能。产品无任何外露金属构件，杜绝金属腐蚀、金属离子污染晶圆的隐患，长期使用吸力稳定，能够显著减少湿法工序晶圆划伤、腐蚀报废等不良问题，提升半导体车间整体生产良率。

产品型号	阀门种类	吸笔头材质	配套笔身型号	配套吸笔头型号
F001-Z-03-3F	NC（常闭）	PCTFE	F001-Z（附带 110 配件）	03-3F
F001-Z-03-PK	NC（常闭）	PEEK	F001-Z（附带 110 配件）	03-PK
F001-Z-03-VP	NC（常闭）	Vespel(R)	F001-Z（附带 110 配件）	03-VP
F002-Z-03-3F	NO（常开）	PCTFE	F002-Z（附带 110 配件）	03-3F
F002-Z-03-PK	NO（常开）	PEEK	F002-Z（附带 110 配件）	03-PK
F002-Z-03-VP	NO（常开）	Vespel(R)	F002-Z（附带 110 配件）	03-VP
F003-Z-03-3F	NO+SW（带开关常开）	PCTFE	F003-Z（附带 110 配件）	03-3F
F003-Z-03-PK	NO+SW（带开关常开）	PEEK	F003-Z（附带 110 配件）	03-PK
F003-Z-03-VP	NO+SW（带开关常开）	Vespel(R)	F003-Z（附带 110 配件）	03-VP

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