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深圳京都玉崎推出ULVAC爱发科多级罗茨型干泵HR60

2026/06/15 19:43:13

通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

特点

高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
“Model:UR”可比“Model:HR”更加高温化。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
*的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。

用途

CVD装置
蚀刻装置
灰化装置
ALD、ALH 等

规格

型号

HR60

HR90

HR300

HR600

HR1200

使用泵

干式真空泵

HR60

HR90

HR60

HR90

机械增压泵

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

*
排气速度

50Hz

m3/h
(L/min)

62(1030)

112(1860)

359(5,980)

653(10,900)

1,012(16,900)

60Hz

m3/h
(L/min)

80(1333)

126(2100)

365(6,080)

701(11,700)

1,051(17,500)

到达压力

0.67

*排气压力
（吸入圧力）

大气压 *1

*排气压力
（吸入圧力）

1~ 大气压

吸气口 (CE规格)

VG50(KF50)

VG80(KF50)

VG80(KF80)

VG100(KF100)

排气口

KF40

质量

420

电源

三相

VAC
(Hz)

200(50/60), 220(60)

电流值

稳定时

7.1
(at 200V)

11.2
(at 200V)

7.8
(at 200V)

12.9
(at 200V)

15.4
(at 200V)

*值

7.3
(at 200V)

11.8
(at 200V)

8.1
(at 200V)

13.8
(at 200V)

18.9
(at 200V)

冷却水一次圧力

MPa

0.1~0.3

冷却水出入口压差

MPa

>0.1

冷却水流量

L/min

>5.0

吹扫气

一次压力

MPa

0.1~0.5

二次压力

MPa

0.05~0.1

N2吹扫

轴

SLM

气镇

SLM

0~45

*1 HR300、HR600、HR1200请勿在200Pa以上的吸入压力下连续运转。

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