日本直供滨松光子QPM光学模块C16999-20

2026/01/04 17:03:26

用于检测表面缺陷的直列高速干涉显微镜（低倍率型）

它是干涉显微镜“定量相位显微镜（QPM）”的一个光学模块，能够获得高纳米级分辨率。我们的技术能够缩小外壳的尺寸和重量，实现高速测量（即实时高性能）。

C16999-20是一种低倍率型号，支持10倍/5倍/2倍物镜。

物品	高倍率模型			低倍率模型			低倍率模型	单位
物品	约16999-10年			约16999-20年			约16999-30年	单位
物镜（单独出售）	A17086-10	A17086-20	A17086-30	A17086-40	A17086-50	A17086-60	A17086-70	‐
物镜放大倍率	20倍	10倍	5倍	10倍	5倍	2次	1.25倍	-
垂直分辨率*1	低于0.5纳米							NM
水平分辨率	0.72	1.1	2.2	1.1	2.2	4.1	8.1	μm
视野	0.707 × 0.517	1.41 × 1.04	2.83 × 2.07	1.41 × 1.04	2.83 × 2.07	7.07 × 5.17	11.3 × 8.28	嗯
相位成像速度*2	25							FPS
Z 范围	±1.3	±3	±12	±3	±12	±12	±15	μm
W.D.	3.1	11	20	11	20	6.2	5	嗯

*1 这是测试图中步骤的光路重复性。

*2 在200帧/秒的摄影机帧率下拍摄。

注意：规格指的是将我们的相机和镜头筒结合时，每个物镜的光学性能。