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TG50F日本大阪真空OSAKA电子枪排气电离源排气用任何方向类型涡轮分子泵北崎热卖
2025/11/08 11:23:32
任何方向类型 TG-F 系列
使用油脂润滑球轴承，用于小型、轻便和低成本的泵。抗冲击设计使涡轮分子泵能够安装在移动设备或运动部件上。产品阵容提供从 50 L/s 到 2400 L/s 的型号。
润滑脂润滑球轴承型涡轮分子泵的横截面
产品阵容
TG50F
任何方向
紧凑的尺寸
节能
快速启动
带排气口快速关闭
用于涌入空气的耐用结构
串行通信
※RS232C串行接口
应用
半导体生产
电子枪排气、电离源排气
FPD制造
表面处理、表面改性
各种电子元器件的制造
分析、检测设备
灯具生产、光学元件生产
加速装置、辐射设施、核聚变研究
热处理
研究与开发
*如果排出腐蚀性气体，请选择我们的化学用TG-M或TG系列。
| 型 | TG50F | |
| 入口法兰 | VG65/ISO-R63/CF63 标准 | |
| 体积流量 | N2（长/秒） | 51 |
| N2（带防护 屏）（长/秒） | 49 | |
| H2（长/秒） | 12 | |
| *压缩比 | N2 | 1.4×107 |
| H2 | 5×102 | |
| 基础压力 | VG・ISO-R/CF （帕） | <3×10-6 |
| VG・ISO-R/CF （Torr） | <2.3×10-8 | |
| *吞吐量※1 | N2（SCCM） | 80 |
| 启动时间 | （分钟） | 1-1.5 |
| 关机时间 | （分钟） | 1-1.5 |
| *背压 | （宾夕法尼亚州/托尔） | 1330/10 |
| 的前级真空泵 | （升/分钟） | ≧50 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG・ISO-R/CF（kg） | 4.2/6 |
| 控制器 | TC64型 | |
*1 ： 使用100L/min的前级真空泵时。
[使用环境温度]
确保您达到极限压力的环境温度范围为 10-23°C。风冷型允许环境温度为10-32°C，水冷型允许环境温度为10-40°C。保证极限压力的冷却水*温度为30°C，冷却水允许温度范围为10-35°C。
[对应气体]
一些使用气体会使润滑脂和内部零件变质。请联系 Osaka Vacuum 获取适用气体类型的列表。
